[发明专利]阳极化装置

权利要求书

1.一种阳极化装置，具备：

第1处理槽，能够进行基板的阳极化处理；

第2处理槽，设置在第1处理槽的内侧，能够进行所述基板的阳极化处理；

第1电解液供给单元，能够向所述第1处理槽供给第1电解液；

第2电解液供给单元，能够向所述第2处理槽供给第2电解液；

保持部，能够保持所述基板；

第1电极，设置在所述第1处理槽或所述第2处理槽的上方；以及

第2电极，设置在所述第1处理槽及所述第2处理槽的下方。

2.如权利要求1所述的阳极化装置，其中，

还具有设置在所述第1电极的内侧的第3电极，

所述第1电极与所述第1处理槽对置，所述第3电极与所述第2处理槽对置。

3.如权利要求1所述的阳极化装置，其中，

所述第1电解液供给单元至少能够使用第1液体生成所述第1电解液，

所述第1电解液供给单元包括：

第1混合槽，能够保存所述第1电解液；

第1浓度传感器，能够在所述第1混合槽中监视所述第1电解液的浓度；以及

第1供给控制部，能够基于所述第1浓度传感器的结果，控制所述第1液体向所述第1混合槽的供给。

4.如权利要求3所述的阳极化装置，其中，

所述第1电解液供给单元还能够使用从所述第1处理槽回收来的第2液体生成所述第1电解液。

5.如权利要求1所述的阳极化装置，其中，

所述第2电解液供给单元至少能够使用第3液体生成所述第2电解液，

所述第2电解液供给单元包括：

第2混合槽，能够保存所述第2电解液；

第2浓度传感器，能够在所述第2混合槽中监视所述第2电解液的浓度；以及

第2供给控制部，能够基于所述第2浓度传感器的结果，控制所述第3液体向所述第2混合槽的供给。

6.如权利要求5所述的阳极化装置，其中，

所述第2电解液供给单元还能够使用从所述第1处理槽回收来的第4液体生成所述第2电解液。

7.如权利要求5所述的阳极化装置，其中，

所述第2电解液供给单元还能够使用从所述第2处理槽回收来的第5液体生成所述第2电解液。

8.如权利要求1至6中任一项所述的阳极化装置，其中，

所述第1及第2处理槽具有圆筒形状，所述第2处理槽的内径比所述第1处理槽的内径小。

9.如权利要求2所述的阳极化装置，其中，

还具备：

第1电流源，能够向所述第1电极供给第1电流；以及

第2电流源，能够向所述第3电极供给第2电流。

10.如权利要求2所述的阳极化装置，其中，

还具备：

第3电流源；

第1开关，能够将所述第3电流源与所述第1电极电连接；

第2开关，能够将所述第3电流源与所述第3电极电连接。

11.如权利要求1所述的阳极化装置，其中，

还具备：

第3处理槽，设置在所述第1处理槽与所述第1电极之间、或者所述第2处理槽与所述第1电极之间；以及

第3电解液供给单元，能够向所述第3处理槽供给第3电解液。

12.如权利要求2所述的阳极化装置，其中，

还具备：

第3处理槽，设置在所述第2处理槽与所述第1电极之间；

第4处理槽，设置在所述第1处理槽与所述第3电极之间；

第3电解液供给单元，能够向所述第3处理槽供给第3电解液；以及

第4电解液供给单元，能够向所述第4处理槽供给第4电解液。