[发明专利]涂布装置

说明书

本发明涉及一种涂布装置。形成有多个孔部(43)的截流环(41)配置在内罩(21)的下端(26A)，且具有与外罩(23)的从外周壁(29)到间壁(31)为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩(21)滴落的涂布液的一部分被截流环(41)拦截，因此能够防止因冰柱状的涂布液导致底排气通路(PT2)堵塞。另外，当气体从外排气通路(PT1)流向底排气通路(PT2)时，截流环(41)能够捕获涂布液雾气。进而，当气体从底排气通路(PT2)流向内排气通路(PT3)时，截流环(41)能够进一步捕获残留的涂布液雾气。能够提高处理液雾气的捕获效率。

技术领域

本发明涉及一种将涂布液涂布在衬底表面的涂布装置。衬底例如可列举：半导体衬底、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)用衬底、光罩用玻璃衬底、光碟用衬底、磁碟用衬底、陶瓷衬底、太阳电池用衬底等。FPD例如可列举：液晶显示装置、有机EL(electroluminescence，电致发光)显示装置等。

背景技术

以往的涂布装置是通过向衬底上供给涂布液，并使衬底旋转而将涂布液涂布在衬底上。此时，多余的涂布液因离心力而飞散到衬底外。飞散到衬底外的涂布液利用防飞散罩(以下，称作“罩”)进行回收(例如，参照专利文献1～3)。

此外，专利文献1中揭示了一种捕雾器，其在将罩内的气体向外部排出的排气通路内、且在排气口附近，捕捉罩内气体中所含有的涂布液雾气。

专利文献2中揭示了一种截流部件，其捕捉悬浮的线状涂布液。截流部件具有多个孔部。截流部件配置为将上下方向的排气通路从下侧拦截。截流部件利用螺丝，经由间隔片安装在整流部件。由于截流部件形成为大于整流部件的外径，因此能够使洗净液滴在截流部件的上表面，使得附着在截流部件的孔部的涂布液被洗净液洗净并去除。

专利文献3中揭示了一种涂布液捕获部件，其捕获线状涂布液。涂布液捕获部件具有多个开口部，且构成为能够贮存溶剂。线状涂布液与贮存在涂布液捕获部件的溶剂接触而被溶解。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]

日本专利特开2003-080159号公报

[专利文献2]

日本专利特开2016-184644号公报

[专利文献3]

日本专利特开2019-046833号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

然而，以往的装置存在以下问题。如果因衬底的旋转使得多余的处理液飞散，那么会产生涂布液雾气。涂布液雾气有可能会附着在排气通路的内壁而堵塞排气通路。可设置捕雾器以捕获(捕捉)涂布液雾气。但是，以往的捕雾器有可能捕获效果不充分。另外，如图15所示，有可能涂布液在内罩121的下端成为冰柱状(符号IC)而堵塞排气通路。

本发明是鉴于如上所述的情况而完成的，其目的在于提供一种能够防止因冰柱状的涂布液导致排气通路堵塞，且能够提高处理液雾气的捕获效率的涂布装置。

[解决问题的技术手段]