[发明专利]硅片多线切割机导轮异常处理方法

权利要求书

1.一种硅片多线切割机导轮异常处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

使用旧导轮对硅棒进行切割，并分别选取对硅棒头、中、尾部切割得到的硅片检测TTV，记录旧导轮切割硅片TTV异常位置，当TTV异常位置对应硅棒的中部时，更换第一套新导轮；

检测硅片多线切割机的旧导轮的左端面跳动及右端面跳动，当跳动无异常时，更换第一套新导轮，当跳动异常时，记录旧导轮跳动异常位置后更换第一套新导轮；

使用所述第一套新导轮对硅棒进行切割，并分别选取对硅棒头、中、尾部切割得到的硅片检测TTV，记录第一套新导轮切割硅片TTV异常位置；

检测所述第一套新导轮的左端面跳动及右端面跳动；

当所述第一套新导轮切割硅片TTV异常位置与旧导轮切割硅片TTV异常位置一致时，更换第二套新导轮且同步更换对应位置处的轴承箱，不一致时，进入下一步骤；

当所述第一套新导轮跳动无异常时，更换第二套新导轮；

当所述第一套新导轮跳动异常时：记录所述第一套新导轮跳动异常位置，若第一套新导轮跳动异常位置与旧导轮跳动异常位置不一致，重装第一套新导轮中出现跳动异常的导轮，若第一套新导轮跳动异常位置与旧导轮跳动异常位置一致，更换第二套新导轮且同步更换对应位置处的轴承箱。

2.根据权利要求1所述的硅片多线切割机导轮异常处理方法，其特征在于，硅棒头部为硅棒0-50mm长度范围，硅棒尾部为硅棒最后50mm长度范围。

3.根据权利要求1所述的硅片多线切割机导轮异常处理方法，其特征在于，当所述第一套新导轮切割硅片TTV异常位置与旧导轮切割硅片TTV异常位置一致时，更换第二套新导轮且同步更换对应位置处的轴承箱，不一致时，进入下一步骤，包括：

第一套新导轮切割硅片TTV异常位置与旧导轮切割硅片TTV异常位置均对应硅棒头部时，更换硅片多线切割机中的固定轴承箱；

第一套新导轮切割硅片TTV异常位置与旧导轮切割硅片TTV异常位置均对应硅棒尾部时，更换硅片多线切割机中的活动轴承箱。

4.根据权利要求1所述的硅片多线切割机导轮异常处理方法，其特征在于，当所述第一套新导轮跳动异常时：记录所述第一套新导轮跳动异常位置，若第一套新导轮跳动异常位置与旧导轮跳动异常位置不一致，重装第一套新导轮中出现跳动异常的导轮，若第一套新导轮跳动异常位置与旧导轮跳动异常位置一致，更换第二套新导轮且同步更换对应位置处的轴承箱的步骤中：

若第一套新导轮跳动异常位置与旧导轮跳动异常位置一致且跳动异常位置为左端面，更换硅片多线切割机中的固定轴承箱；

若第一套新导轮跳动异常位置与旧导轮跳动异常位置一致且跳动异常位置为右端面，更换硅片多线切割机中的活动轴承箱。

5.根据权利要求1所述的硅片多线切割机导轮异常处理方法，其特征在于，检测所述第一套新导轮的左端面跳动及右端面跳动的步骤之前，还包括；

若第一套新导轮切割硅片TTV异常，且所述第一套新导轮上的钢线为新钢线，则先更换钢线，然后使用所述第一套新导轮对硅棒进行切割，并分别选取对硅棒头、中、尾部切割得到的硅片各一片检测TTV，记录第一套新导轮切割硅片TTV异常位置。

6.根据权利要求1所述的硅片多线切割机导轮异常处理方法，其特征在于，检测硅片多线切割机的旧导轮的左端面跳动及右端面跳动，当跳动无异常时，更换第一套新导轮，当跳动异常时，记录旧导轮跳动异常位置后更换第一套新导轮的步骤中：

当跳动异常时，拆卸旧导轮并检查更换跳动异常位置所对应的轴承箱，然后记录旧导轮跳动异常位置后更换第一套新导轮。