[发明专利]一种半导体设备中研磨装置内零件的清洗工艺

权利要求书

1.一种半导体设备中研磨装置内零件的清洗工艺，其特征在于，包括：对防护外壳、薄膜内圈夹具、薄膜底部夹具、薄膜中部夹具、薄膜上部夹具、传感器柱塞、传感器夹具、阻尼平衡环、阻尼平衡环夹具采用低度清洗工艺进行处理，对法兰、滚动密封圈压环、薄膜上盖夹具采用中度清洗工艺进行处理，对薄膜外圈夹具、内罩、外罩采用中高度清洗工艺进行处理，对研磨头主体采用高度清洗工艺进行处理；

所述对防护外壳、薄膜内圈夹具、薄膜底部夹具、薄膜中部夹具、薄膜上部夹具、传感器柱塞、传感器夹具、阻尼平衡环、阻尼平衡环夹具采用低度清洗工艺进行处理，具体为：

步骤11，清洗防护外壳，其材质为白色塑料：首先使用无尘布将防护外壳柱形凹槽内油渍擦拭干净，将起子电钻粘贴菜瓜布在过滤网密封凹槽和通气管凹槽内进行旋转清洁，再使用无尘布蘸高纯水将过滤网密封凹槽和通气管凹槽的脏污去除，最后无尘布蘸异丙醇将防护外壳的正反面、侧面及沟槽擦拭一遍，通过气枪吹干后放在干净的周转车上等待检查；

步骤12，清洁薄膜内圈夹具，其材质为金属不锈钢：使用无尘布蘸高纯水将薄膜内圈夹具表面擦拭一遍，再使用无尘布蘸异丙醇将薄膜内圈夹具表面擦拭一遍，通过气枪吹干后放在干净的周转车上等待检查；

步骤13，清洁薄膜底部夹具和薄膜中部夹具，其材质为塑料：使用无尘布蘸高纯水将薄膜底部夹具和薄膜中部夹具表面擦拭一遍，再使用无尘布蘸异丙醇将薄膜底部夹具和薄膜中部夹具表面擦拭一遍，通过气枪吹干后放在干净的周转车上等待检查；

步骤14，清洁薄膜上部夹具，其材质为塑料：使用无尘布蘸高纯水将薄膜上部夹具表面的锈迹和压痕擦拭干净，再使用无尘布蘸异丙醇将薄膜上部夹具正反面擦拭一遍，通过气枪吹干后放在干净的周转车上等待检查；

步骤15，清洁传感器柱塞和传感器夹具，其材质为塑料：使用无尘布蘸高纯水将传感器柱塞和传感器夹具表面的锈迹擦拭干净，再使用无尘布蘸异丙醇将传感器柱塞和传感器夹具正反面擦拭一遍，通过气枪吹干后放在干净的周转车上等待检查；

步骤16，清洁阻尼平衡环和阻尼平衡环夹具，其材质均为金属不锈钢：将起子电钻粘贴菜瓜布在螺丝孔内进行旋转清洁，使用无尘布蘸高纯水将阻尼平衡环和阻尼平衡环夹具表面的水渍擦拭干净，再使用无尘布蘸异丙醇将阻尼平衡环和阻尼平衡环夹具正反面擦拭一遍，通过气枪吹干后放在干净的周转车上等待检查；

步骤17，将等待检查的部件全部移入暗室内，更换全新的丁晴手套，关闭暗室的所有门窗，打开紫光灯，使用紫光灯照射产品表面，依次检查每个部件表面是否有脏污颗粒残留，若有残留在对应的部件表面则使用无尘布蘸异丙醇将脏污颗粒去除，去除后使用颗粒检测仪对部件表面残留的颗粒数量进行检测，并记录数值；

对法兰、滚动密封圈压环、薄膜上盖夹具采用中度清洗工艺进行处理，具体为：

步骤21，清洁法兰，其材质为金属铝：将起子电钻粘贴菜瓜布在法兰上的密封圈凹槽内进行旋转清洁，使用金刚石打磨片蘸高纯水将法兰表面的锈迹轻轻打磨，再使用无尘布蘸高纯水将表面残留的脏污擦拭一遍，同时将密封圈凹槽内的脏污擦拭干净，最后无尘布蘸异丙醇将正反面、侧楞和密封圈凹槽处擦拭干净，擦拭干净后放置在周转车上等待气水枪冲洗；

步骤22，清洁滚动密封圈压环，其材质为金属不锈钢：使用无尘布蘸高纯水将滚动密封圈压环表面的脏污颗粒擦拭干净，再使用无尘布蘸异丙醇将滚动密封圈压环的正反面擦拭一遍，擦拭干净后放置在周转车上等待气水枪冲洗；

步骤23，清洁薄膜上盖夹具，其材质为金属不锈钢：使用无尘布蘸高纯水将薄膜上盖夹具擦拭至锈迹完全去除，再使用无尘布蘸异丙醇将薄膜上盖夹具的正反面擦拭一遍，擦拭干净后放置在周转车上等待气水枪冲洗；

步骤24，将等待气水枪冲洗的部件转移至冲洗槽内，使用气水枪依次对部件的正反面进行冲洗，每个部件冲洗时间控制再3-5min，冲洗完成后使用气枪对部件进行吹干；

步骤25，将吹干后的部件转移至暗室内，更换全新的丁晴手套，关闭暗室的所有门窗，打开紫光灯，使用紫光灯照射产品表面，依次检查每个部件表面是否有脏污颗粒残留，若有残留在对应的部件表面则使用无尘布蘸异丙醇将脏污颗粒去除，去除后使用颗粒检测仪对部件表面残留的颗粒数量进行检测，并记录数值；

对薄膜外圈夹具、内罩、外罩采用中高度清洗工艺进行处理，具体为：

步骤31，清洗薄膜外圈夹具，其材质为金属不锈钢：首先将薄膜外圈夹具浸泡在高纯水内3-5min，使附着在上面的研磨液湿润、软化；之后使用流动的高纯水冲洗薄膜外圈夹具表面，并用菜瓜布对附着在上面的研磨液残渣进行打磨去除至漏出不锈钢本体为止，清洗完毕后使用无尘布蘸高纯水擦拭薄膜外圈夹具正反面，再使用无尘布蘸异丙醇擦拭薄膜外圈夹具正反面，擦拭干净后放置在周转车上等待超音波清洗；

步骤32，清洗内罩和外罩，其材质均为白色塑料：首先将内罩和外罩浸泡在高纯水内3-5min，之后使用流动的高纯水冲洗内罩和外罩表面，清洗完毕后使用无尘布蘸高纯水分别擦拭正反面，再使用无尘布蘸异丙醇分别擦拭正反面，擦拭干净后放置在周转车上等待超音波清洗；

步骤33，将等待超声清洗的部件转移至超音波槽内；

步骤34，把水阻率监控仪检测区域放入超音波槽内，监控水阻值的变化，如果水阻值在合格区间内进行步骤35，否则返回步骤33重新进行超音波清洗；

步骤35，完成超音波清洗的部件从超音波槽内取出，放入气水枪冲洗槽内，使用气水枪依次对部件的正反面进行冲洗，每个部件冲洗时间3-5min，完成冲洗后使用气枪对部件进行吹干；

步骤36，吹干后的部件转移至暗室内，更换全新的丁晴手套，关闭暗室的所有门窗，打开紫光灯，使用紫光灯照射产品表面，依次检查每个部件表面是否有脏污颗粒残留，若有残留在对应的部件表面则使用无尘布蘸异丙醇将脏污颗粒去除，去除后使用颗粒检测仪对部件表面残留的颗粒数量进行检测，并记录数值；

对研磨头主体采用高度清洗工艺进行处理，具体为：

步骤41，清洗研磨头主体，其材质为金属不锈钢：首先将起子电钻粘贴菜瓜布在过水孔、螺丝孔、转接头位置的凹槽内进行旋转清洁，使用金刚石打磨片打磨螺丝孔正反面的锈迹，再使用无尘布蘸高纯水将锈迹脏污去除；通过毛刷分别对多个过水孔进行清洁；然后无尘布蘸高纯水对气体转接头和密封圈凹槽进行擦拭，直至表面无残留白色研磨液残渣；最后使用无尘布蘸异丙醇对主体进行擦拭，确保主体正反面、过水孔、螺丝孔、气体转接头都被清理干净；

步骤42，将擦拭干净的主体转移至冲洗槽内，使用气水枪对主体进行冲洗，过水孔、螺丝孔、气体转接头和背面密封圈凹槽进行重点清洗，清洗过程控制在5-8min；

步骤43，冲洗后的主体放入热水槽内浸泡；

步骤44，热水浸泡完成的主体放入冲洗槽内，使用高压水枪对主体进行冲洗，过水孔、螺丝孔、气体转接头和背面密封圈凹槽进行重点清洗，清洗过程控制在5-8min；

步骤45，高压冲洗后的主体放入自动超音波清洗设备内，隔一段时间进行主体翻转；

步骤46，把水阻率监控仪检测区域放入超音波槽内，监控水阻值的变化，如果水阻值在合格区间内进行步骤47，否则返回步骤45重新进行超音波清洗；

步骤47，超音波清洗后的主体再次放入冲洗槽内，使用高压水枪对主体进行冲洗，过水孔、螺丝孔、气体转接头和背面密封圈凹槽进行重点清洗，清洗过程控制在5-8min；

步骤48，冲洗后的主体使用气枪吹干，确保没有水残留，将吹干后的主体转移至暗室内，更换全新的丁晴手套，关闭暗室的所有门窗，打开紫光灯，使用紫光灯照射产品表面，依次检查每个部件表面是否有脏污颗粒残留，若有残留在对应的部件表面则使用无尘布蘸异丙醇将脏污颗粒去除，去除后使用颗粒检测仪对部件表面残留的颗粒数量进行检测，并记录数值。