[发明专利]一种化学材料气相沉积装置

权利要求书

1.一种化学材料气相沉积装置，包括底座（1）、加热棒（3）、排气管（4）、气泵（6）、进步电机（10）和分流管（14），其特征在于：所述底座（1）的上表面固定安装有加热反应室（2）、气泵（6）和沉积室（7），且加热反应室（2）的内壁底部固定连接有加热棒（3），并且加热反应室（2）的侧壁上固定连接有输气管（17），所述排气管（4）的端部分别与加热反应室（2）、气泵（6）和沉积室（7）固定连接，且加热反应室（2）与沉积室（7）之间固定连接有连接管（5），并且连接管（5）贯穿沉积室（7）的侧壁设置，所述沉积室（7）的侧面活动安装有密封门（8），且沉积室（7）的内壁上活动安装有螺纹杆（11），并且螺纹杆（11）的一端贯穿沉积室（7）的侧壁设置，而且螺纹杆（11）的端部固定安装在进步电机（10）的输出轴上，所述进步电机（10）固定安装在固定支架（9）上，且固定支架（9）固定连接在底座（1）的顶部，所述分流管（14）的端部与连接管（5）的端部固定连接，且分流管（14）的底端与沉积喷头（15）的顶部固定连接，所述沉积喷头（15）的顶部固定安装在滑动块（13）的底部，且滑动块（13）活动安装在横梁（12）上，并且滑动块（13）与螺纹杆（11）活动连接，而且横梁（12）的两端固定安装在沉积室（7）的内壁上，同时沉积室（7）的侧壁上固定连接有承载板（16），所述加热棒（3）设置在加热反应室（2）的内壁中心处，且加热反应室（2）上安装的连接管（5）与输气管（17）的高度不同，连接管（5）的安装位置更高，所述连接管（5）为不锈钢金属软管，且连接管（5）固定连接的分流管（14）为陶瓷材质，所述分流管（14）上等间距设置有4个支管，且分流管（14）上的4个支管的直径不同，从左往右支管的直径递减，所述螺纹杆（11）与滑动块（13）之间为螺纹连接，且螺纹杆（11）上设置的圆盘与沉积室（7）侧壁内部的卡槽构成转动的卡合结构。

2.根据权利要求1所述的一种化学材料气相沉积装置，其特征在于：所述沉积喷头（15）的底部喷口为“倒三角形”结构，且沉积喷头（15）的喷口角度为50°。