[发明专利]一种化学材料气相沉积装置

说明书

本发明公开了一种化学材料气相沉积装置，包括底座、加热棒、排气管、气泵、进步电机和分流管，所述底座的上表面固定安装有加热反应室、气泵和沉积室，且加热反应室的内壁底部固定连接有加热棒，并且加热反应室的侧壁上固定连接有输气管，所述排气管的端部分别与加热反应室、气泵和沉积室固定连接，且加热反应室与沉积室之间固定连接有连接管，并且连接管贯穿沉积室的侧壁设置。该化学材料气相沉积装置，气体反应和分子沉积两个过程分开，减少了分子沉积步骤中气体的混杂程度，有利于分子的快速沉积，且本装置能够使产物分子均匀的在工件表面沉积，并且能够有效利用产物分子，减少产物分子的浪费。

技术领域

本发明涉及气相沉积技术领域，具体为一种化学材料气相沉积装置。

背景技术

气相沉积装置是一种高精度加工设备，其作用是通过提供一定的反应环境让多种气体之间相互反应，生成所需要的产物分子，然后再使产物分子沉积附着在工件表面，通过层层堆叠最终使加工产品成型。

然而现有的气相沉积装置，气体反应和分子沉积步骤设置在同一密闭空间中，反应物气体和生成物气体混杂，不利于生成物气体分子快速在工件表面沉积，从而降低了工作效率，且生成物气体分子难以均匀的沉积在工件表面，对产品质量产生不利影响，不能够高效利用生成物气体分子造成浪费。针对上述问题，急需在原有气相沉积装置的基础上进行创新设计。

发明内容

本发明的目的在于提供一种化学材料气相沉积装置，以解决上述背景技术提出现有的气相沉积装置，气体反应和分子沉积步骤设置在同一密闭空间中，反应物气体和生成物气体混杂，不利于生成物气体分子快速在工件表面沉积，从而降低了工作效率，且生成物气体分子难以均匀的沉积在工件表面，对产品质量产生不利影响，不能够高效利用生成物气体分子造成浪费的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种化学材料气相沉积装置，包括底座、加热棒、排气管、气泵、进步电机和分流管，所述底座的上表面固定安装有加热反应室、气泵和沉积室，且加热反应室的内壁底部固定连接有加热棒，并且加热反应室的侧壁上固定连接有输气管，所述排气管的端部分别与加热反应室、气泵和沉积室固定连接，且加热反应室与沉积室之间固定连接有连接管，并且连接管贯穿沉积室的侧壁设置，所述沉积室的侧面活动安装有密封门，且沉积室的内壁上活动安装有螺纹杆，并且螺纹杆的一端贯穿沉积室的侧壁设置，而且螺纹杆的端部固定安装在进步电机的输出轴上，所述进步电机固定安装在固定支架上，且固定支架固定连接在底座的顶部，所述分流管的端部与连接管的端部固定连接，且分流管的底端与沉积喷头的顶部固定连接，所述沉积喷头的顶部固定安装在滑动块的底部，且滑动块活动安装在横梁上，并且滑动块与螺纹杆活动连接，而且横梁的两端固定安装在沉积室的内壁上，同时沉积室的侧壁上固定连接有承载板。

优选的，所述加热棒设置在加热反应室的内壁中心处，且加热反应室上安装的连接管与输气管的高度不同，连接管的安装位置更高。

优选的，所述连接管为不锈钢金属软管，且连接管固定连接的分流管为陶瓷材质。

优选的，所述分流管上等间距设置有4个支管，且分流管上的4个支管的直径不同，从左往右支管的直径递减。

优选的，所述沉积喷头的底部喷口为“倒三角形”结构，且沉积喷头的喷口角度为50°。

优选的，所述螺纹杆与滑动块之间为螺纹连接，且螺纹杆上设置的圆盘与沉积室侧壁内部的卡槽构成转动的卡合结构。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该化学材料气相沉积装置，气体反应和分子沉积两个过程分开，减少了分子沉积步骤中气体的混杂程度，有利于分子的快速沉积，且本装置能够使产物分子均匀的在工件表面沉积，并且能够有效利用产物分子，减少产物分子的浪费；

1、通过分别设置加热反应室和沉积室，将气体反应和分子沉积两个过程分开，利用加热反应室内部的加热棒提供反应物气体所需的反应温度，当反应物气体充分反应生成产物气体时，产物气体经由设置在高位的连接管，进入沉积室中开始进行；