[发明专利]一种超灵敏湿度探测器

权利要求书

1.一种超灵敏湿度探测器，其特征在于，包括：透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部，所述磁性材料层置于所述透明支撑层上，所述第一固定部、所述第二固定部、所述传感部置于所述磁性材料层上，所述第一固定部和所述第二固定部固定在所述磁性材料层上，所述传感部设置在所述第一固定部和所述第二固定部之间，所述传感部的材料为聚酰亚胺。

2.如权利要求1所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：在所述传感部一侧，所述磁性材料层中设有凹槽，所述凹槽内设有聚酰亚胺材料。

3.如权利要求2所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述凹槽为方形、圆形或锥形。

4.如权利要求3所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述凹槽的个数为多个。

5.如权利要求4所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述凹槽周期性排列。

6.如权利要求5所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述凹槽排列的周期为方形周期。

7.如权利要求1-6任一项所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述磁性材料层的材料为钴、铋铁石榴石。

8.如权利要求7所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述透明支撑部的材料为二氧化硅。

9.如权利要求8所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述第一固定部和所述第二固定部的材料为非磁性材料。

10.如权利要求9所述的超灵敏湿度探测器，其特征在于：所述第一固定部和所述第二固定部的高度大于所述传感部的高度。