[发明专利]一种超灵敏湿度探测器在审
申请号: | 202010895716.8 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN111982820A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 中山科立特光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528458 广东省中山市中山火炬开发区中心城区港*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 灵敏 湿度 探测器 | ||
本发明涉及湿度探测领域,具体提供了一种超灵敏湿度探测器,包括:透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部,磁性材料层置于透明支撑层上,第一固定部、第二固定部、传感部置于磁性材料层上,第一固定部和第二固定部固定在磁性材料层上,传感部设置在第一固定部和第二固定部之间,传感部的材料为聚酰亚胺。应用时,线偏振光倾斜照射透明支撑层,在垂直于入射面方向施加外磁场,传感部吸湿膨胀,改变反射光的强度,通过探测反射光的强度实现湿度探测。因为聚酰亚胺材料具有良好的吸湿膨胀特性和克尔效应显著地依赖于磁性材料层的磁导率,所以本发明具有湿度探测灵敏度高的优点。
技术领域
本发明涉及湿度探测领域,具体涉及一种超灵敏湿度探测器。
背景技术
湿度涉及工程技术的各个领域。随着科技的发展,对湿度探测的灵敏度要求越来越高。传统湿度探测是基于电阻或电容变化的,湿度探测的灵敏度低。
发明内容
为解决以上问题,本发明提供了一种超灵敏湿度探测器,包括:透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部,磁性材料层置于透明支撑层上,第一固定部、第二固定部、传感部置于磁性材料层上,第一固定部和第二固定部固定在磁性材料层上,传感部设置在第一固定部和第二固定部之间,传感部的材料为聚酰亚胺。
更进一步地,在传感部一侧,磁性材料层中设有凹槽,凹槽内设有聚酰亚胺材料。
更进一步地,凹槽为方形、圆形或锥形。
更进一步地,凹槽的个数为多个。
更进一步地,凹槽周期性排列。
更进一步地,凹槽排列的周期为方形周期。
更进一步地,磁性材料层的材料为钴、铋铁石榴石。
更进一步地,透明支撑部的材料为二氧化硅。
更进一步地,第一固定部和第二固定部的材料为非磁性材料。
更进一步地,第一固定部和第二固定部的高度大于传感部的高度。
本发明的有益效果:本发明提供了一种超灵敏湿度探测器,包括:透明支撑层、磁性材料层、第一固定部、第二固定部、传感部,磁性材料层置于透明支撑层上,第一固定部、第二固定部、传感部置于磁性材料层上,第一固定部和第二固定部固定在磁性材料层上,传感部设置在第一固定部和第二固定部之间,传感部的材料为聚酰亚胺。应用时,线偏振光倾斜照射透明支撑层,在垂直于入射面方向施加外磁场,传感部吸湿膨胀,从而改变磁性材料层的应力,改变磁性材料层的磁导率,从而改变反射光的强度,通过探测反射光的强度实现湿度探测。因为聚酰亚胺材料具有良好的吸湿膨胀特性和克尔效应显著地依赖于磁性材料层的磁导率,所以本发明具有湿度探测灵敏度高的优点,在湿度探测领域具有良好的应用前景。
以下将结合附图对本发明做进一步详细说明。
附图说明
图1是一种超灵敏湿度探测器的示意图。
图2是又一种超灵敏湿度探测器的示意图。
图中:1、透明支撑层;2、磁性材料层;3、第一固定部;4、第二固定部;5、传感部;6、凹槽。
具体实施方式
为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效,详细说明如下。
实施例1
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