[发明专利]一种翻转式清洗机上的硅片盒有效

专利信息
申请号: 202010902802.7 申请日: 2020-09-01
公开(公告)号: CN112024519B 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 魏运秀 申请(专利权)人: 孙丹清
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B3/06;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 代理人: 周绪洞
地址: 317500 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 翻转 清洗 硅片
【权利要求书】:

1.一种翻转式清洗机上的硅片盒,包括圆筒形的盒体(1),盒体(1)的一端成型有封板(11),盒体(1)的外壁上成型有若干道通水槽(12),其特征在于:盒体(1)内插设有抽屉架(2),抽屉架(2)包括两根呈截面呈T形的弧形支撑板(21),弧形支撑板(21)的内壁上成型有若干道圆弧形的插槽(211),弧形支撑板(21)一端的内壁上固定有圆形的外端盖(22),弧形支撑板(21)另一端的内壁上固定有圆形的内端盖(23);所述盒体(1)下端的两侧壁上成型有T型的导轨槽(13),抽屉架(2)上的弧形支撑板(21)插接在盒体(1)的导轨槽(13)内,盒体(1)的封板(11)上成型有圆孔(14),内端盖(23)上插接固定有偏心轴(24),偏心轴(24)穿过封板(11)的圆孔(14)成型有连轴(241),连轴(241)上插套有磁性锁杆(25),连轴(241)的外端插套固定有限位套(26),所述圆孔(14)四周的封板(11)上插接固定有与磁性锁杆(25)相对的永磁铁块(4);所述盒体(1)的下端设有连接座(3),连接座(3)包括花键套(31),花键套(31)的外壁上成型有筋板(32),筋板(32)上成型有圆弧形的连接板(33),连接板(33)固定在盒体(1)的外壁上。

2.根据权利要求1所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述的通水槽(12)绕盒体(1)的中心轴线呈环形均匀分布。

3.根据权利要求2所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述抽屉架(2)上的插槽(211)呈线性均匀分布在弧形支撑板(21)上。

4.根据权利要求1所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述抽屉架(2)上内端盖(23)的直径等于盒体(1)内壁的直径,外端盖(22)的直径小于内端盖(23)的直径,内端盖(23)的外端面和盒体(1)的端面相齐平。

5.根据权利要求4所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述外端盖(22)上成型有拉手槽(221)。

6.根据权利要求1所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述永磁铁块(4)至偏心轴(24)的中心矩不大于磁性锁杆(25)的长度,磁性锁杆(25)外端至偏心轴(24)的距离小于圆孔(14)内壁至偏心轴(24)的最大间距。

7.根据权利要求1所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述圆孔(14)四周的盒体(1)封板(11)上成型有若干圆弧形的排水孔(15),所述的内端盖(23)上成型有与排水孔(15)相对的通水孔(231)。

8.根据权利要求1所述的一种翻转式清洗机上的硅片盒,其特征在于:所述抽屉架(2)上弧形支撑板(21)插槽(211)底面的圆弧半径等于盒体(1)内壁的半径。

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