[发明专利]一种翻转式清洗机上的硅片盒

说明书

本发明公开了一种翻转式清洗机上的硅片盒，包括圆筒形的盒体，盒体内插设有抽屉架，抽屉架包括两根呈截面呈T形的弧形支撑板，弧形支撑板的内壁上成型有若干道圆弧形的插槽，弧形支撑板一端的内壁上固定有外端盖，弧形支撑板另一端的内壁上固定有内端盖；所述盒体下端的两侧壁上成型有T型的导轨槽，抽屉架上的弧形支撑板插接在盒体的导轨槽内，盒体的封板上成型有圆孔，内端盖上插接固定有偏心轴，偏心轴穿过封板的圆孔成型有连轴，连轴上插套有磁性锁杆，连轴的外端插套固定有限位套，所述圆孔四周的封板上插接固定有与磁性锁杆相对的永磁铁块。

技术领域

本发明涉及半导体清洗设备的技术领域，更具体地说涉及一种翻转式清洗机上的硅片盒。

背景技术

硅片制作的集成电路芯片为常规的半导体产品，硅片在制作集成电路芯片之前，需要经过清洗。现有的硅片清洗先放入药液槽进行表面化学处理，再送入清洗槽内(采用纯水清洗，也称为纯水槽)，将表面粘附的药液清洗干净。现有具体的清洗方式是将硅片安置在承载硅片的料框(也可以称为硅片盒)，将承载有硅片的料框浸泡到药液槽后，然后提起料框，沥水后，再将料框放入纯水槽内浸泡清洗。其料框的行程是下落、上提和平移到下一个清洗槽上方，需要重复上述动作多次，至最后一个清洗槽时，再下落、上提和平移至第一清洗槽上方，其料框的行程控制需要多个控制机构配合和需要复杂的控制系统，其结构复杂，制造成本较高；

从而设想提出一种可通过齿轮进行移动翻转的料框，利用料框在水槽内翻转实现清洗，其采用的料框需要进行设计，设计的料框需要具有方便取放硅片和料框在翻转过程中能避免硅片与料框脱离的特点。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种翻转式清洗机上的硅片盒，其采用的硅片盒方便硅片的取放；同时硅片盒翻转过程中硅片不会与硅片盒脱离。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种翻转式清洗机上的硅片盒，包括圆筒形的盒体，盒体的一端成型有封板，盒体的外壁上成型有若干道通水槽，盒体内插设有抽屉架，抽屉架包括两根呈截面呈T形的弧形支撑板，弧形支撑板的内壁上成型有若干道圆弧形的插槽，弧形支撑板一端的内壁上固定有圆形的外端盖，弧形支撑板另一端的内壁上固定有圆形的内端盖；所述盒体下端的两侧壁上成型有T型的导轨槽，抽屉架上的弧形支撑板插接在盒体的导轨槽内，盒体的封板上成型有圆孔，内端盖上插接固定有偏心轴，偏心轴穿过封板的圆孔成型有连轴，连轴上插套有磁性锁杆，连轴的外端插套固定有限位套，所述圆孔四周的封板上插接固定有与磁性锁杆相对的永磁铁块；所述盒体的下端设有连接座，连接座包括花键套，花键套的外壁上成型有筋板，筋板上成型有圆弧形的连接板，连接板固定在盒体的外壁上。

优选的，所述的通水槽绕盒体的中心轴线呈环形均匀分布。

优选的，所述抽屉架上的插槽呈线性均匀分布在弧形支撑板上。

优选的，所述抽屉架上内端盖的直径等于盒体内壁的直径，外端盖的直径小于内端盖的直径，内端盖的外端面和盒体的端面相齐平。

优选的，所述外端盖上成型有拉手槽。

优选的，所述永磁铁块至偏心轴的中心矩不大于磁性锁杆的长度，磁性锁杆外端至偏心轴的距离小于圆孔内壁至偏心轴的最大间距。

优选的，所述圆孔四周的盒体封板上成型有若干圆弧形的排水孔，所述的内端盖上成型有与排水孔相对的通水孔。

优选的，所述抽屉架上弧形支撑板插槽底面的圆弧半径等于盒体内壁的半径。

本发明的有益效果在于：其采用的硅片盒方便硅片的取放；同时硅片盒翻转过程中硅片不会与硅片盒脱离。

附图说明

图1为本发明立体的结构示意图；

图2为本发明正视的结构示意图；