[发明专利]线性致动器

权利要求书

1.一种线性致动器，其包括：

导轨，具有永磁体的动子能够沿着所述导轨移动；

壁部分，其安装在基座上并支撑所述导轨；

线圈；

传热构件，其联接到所述线圈；

热辐射构件，其联接到所述传热构件的端部；以及

绝热构件，其安装在所述基座上并联接到所述热辐射构件，

其中所述传热构件布置成与所述壁部分分离开。

2.根据权利要求1所述的线性致动器，所述线性致动器还包括绝热层，所述绝热层设置在所述传热构件和所述壁部分之间，

其中通孔设置在所述壁部分中，

其中所述传热构件包括第一传热构件，所述第一传热构件穿过所述通孔并且具有突出到所述壁部分外部的端部，以及

其中所述绝热层具有第一绝热层，所述第一绝热层设置在所述通孔的内壁和所述第一传热构件之间。

3.根据权利要求2所述的线性致动器，其中所述热辐射构件联接到所述第一传热构件的所述端部。

4.根据权利要求2或3所述的线性致动器，

其中所述传热构件包括第二传热构件，所述第二传热构件上安装有所述线圈，以及

其中所述绝热层包括第二绝热层，所述第二绝热层设置在所述第二传热构件和所述壁部分之间。

5.根据权利要求2或3所述的线性致动器，其中所述绝热层是空气层。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的线性致动器，其中所述热辐射构件具有板状部分。

7.根据权利要求6所述的线性致动器，其还包括位置检测单元，所述位置检测单元设置在所述壁部分上并且配置成检测所述动子的位置，

其中所述板状部分覆盖所述位置检测单元。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的线性致动器，其中所述壁部分包括彼此面对的两个壁部分。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的线性致动器，其中所述热辐射构件、所述绝热构件或所述传热构件中的至少任一个构件具有中空结构。

10.根据权利要求9所述的线性致动器，所述线性致动器还包括流体供应装置，所述流体供应装置配置成使冷却流体流过所述传热构件，其中所述传热构件具有所述中空结构。

11.根据权利要求9所述的线性致动器，所述线性致动器还包括流体供应装置，所述流体供应装置配置成使冷却流体流过所述热辐射构件和所述绝热构件，其中所述热辐射构件和所述绝热构件具有所述中空结构。

12.根据权利要求11所述的线性致动器，其中所述流体供应装置使得所述冷却流体从所述基座的一侧流入所述热辐射构件和所述绝热构件，并从所述传热构件的一侧流出。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的线性致动器，其中所述热辐射构件和所述绝热构件一体形成。

14.一种线性致动器，其包括：

导轨，具有永磁体的动子能够沿着所述导轨移动；

壁部分，其支撑所述导轨；

基座，所述基座上安装有所述壁部分；

绝热构件，其安装在所述基座上；

热辐射构件，所述绝热构件联接到所述热辐射构件；

传热构件，其在端部联接到所述热辐射构件；以及

线圈，其联接到所述传热构件，

其中经由所述传热构件、所述热辐射构件、所述绝热构件、所述基座和所述壁部分形成所述线圈和所述导轨的最短传热路径。

15.一种处理系统，其包括：

根据权利要求1至14中任一项所述的线性致动器；以及

处理装置，其配置成处理由所述动子输送的工件。

16.一种物品的制造方法，其通过使用根据权利要求1至14中任一项所述的线性致动器来制造物品，所述制造方法包括：

通过所述动子输送工件；以及

通过处理所述工件来制造物品。