[发明专利]线性致动器

说明书

一种线性致动器，其包括导轨、壁部分、线圈、传热构件、热辐射构件和绝热构件。具有永磁体的动子可沿着导轨移动。壁部分安装在基座上并支撑导轨。传热构件联接到线圈，并且热辐射构件联接到传热构件的端部。绝热构件安装在基座上并联接到热辐射构件。传热构件布置成与壁部分分离开。

技术领域

本公开涉及一种线性致动器。

背景技术

日本专利申请特开No.H11-113238公开了一种可移动磁体型线性致动器，其具有带有永磁体单元的动子和带有电枢单元的定子。在日本专利申请特开No.H11-113238中，由于电枢单元布置成使得保持永磁体单元，所以抵消了在电枢单元的励磁磁芯和永磁体单元的永磁体之间起作用的吸力。因此，可以抑制由于吸力引起的定子框架的变形。

然而，在日本专利申请特开No.H11-113238中，动子的速度增加和密度增大导致线圈的发热量增加，并且来自线圈的热量被传递到线圈所固定到的框架。由于框架的热膨胀导致在框架上引起偏转，所以沿着框架上的导轨移动的动子的停止位置精度降低。此外，由于框架的热膨胀导致位置检测器的位置移位，所以对动子位置的检测精度也降低。

因此，日本专利申请特开No.2018-78668公开了一种线性致动器的结构，其防止线圈单元的发热传递到框架。在日本专利申请特开No.2018-78668中公开的结构中，绝热构件设置在线圈单元和框架之间，并且设置传热构件，该传热构件的一个端部联接到线圈单元，并且另一个端部联接到热辐射部分。

然而，在日本专利申请特开No.2018-78668中公开的结构中，设置在线圈单元和框架之间的绝热构件需要较高的绝热性能，并且设置在线圈单元和热辐射部分之间的传热构件也需要较高的传热性能。因此，由于具有高热阻的绝热构件导致线圈附接部分的刚性降低，并且需要较大的空间来获得绝热构件的高绝热性能，所以装置的尺寸增加。

此外，为了提高绝热构件的绝热性能和传热构件的传热性能，需要分别使用特殊的材料，这增加了装置的成本。因此，即使当日本专利申请特开No.2018-78668中的结构用于线性致动器时，也难以完全防止线圈单元的发热传递到框架，并且因此，框架热膨胀。框架的热膨胀会降低动子的定位精度。

发明内容

根据本公开的一个方面，线性致动器包括：导轨，具有永磁体的动子能够沿着该导轨移动；壁部分，其安装在基座上并支撑导轨；线圈；传热构件，其联接到线圈；热辐射构件，其联接到传热构件的端部；以及绝热构件，其安装在基座上并联接到热辐射构件，其中传热构件布置成与壁部分分离开。

根据以下参考附图对示例性实施例的描述，本公开的其它特征将变得显而易见。

附图说明

图1是示出根据本公开的一个实施例的处理系统的整体配置的示意图。

图2是示出根据本公开的一个实施例的传送系统的配置的示意图。

图3是示出根据本公开的一个实施例的传送系统中的传送托架和传送模块的配置的示意图。

图4是示出根据本公开的一个实施例的传送系统中的传送托架和传送模块的配置的截面图。

图5是示出根据本公开的一个实施例的传送模块中的热传递的示意图。

图6是示出根据本公开的一个实施例的传送系统中的传送托架和传送模块的配置的修改示例的截面图。

具体实施方式

将参考图1至图5描述根据本公开的一个实施例的处理系统。应注意，对于下面描述的说明书和附图中的多个相同组件，当需要区分时，在相同附图标记的末尾添加小写字母作为标识符，并且当不特别需要区分时，省略标识符并且仅使用附图标记。

首先，将参考图1描述根据本实施例的处理系统的整体配置。图1是示出了根据本实施例的处理系统的整体配置的示意图，并且示意性地示出了当从顶面观察时的整体系统。