[发明专利]一种切割液提供装置及硅片切割设备有效
申请号: | 202010914356.1 | 申请日: | 2020-09-03 |
公开(公告)号: | CN112008903B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 杨帆;樊欢欢;戚凤鸣 | 申请(专利权)人: | 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 222000 江苏省连云港市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 提供 装置 硅片 设备 | ||
1.一种切割液提供装置,用于金钢线切片时提供切割液,其特征在于,包括:
砂浆缸,所述砂浆缸用于盛放切割混合液,所述砂浆缸的侧面开设有溢流孔,所述砂浆缸的侧面开设有用于加水的进水孔;
加液桶,所述加液桶连接所述砂浆缸,用于盛放补充用切割液以向所述砂浆缸提供所述切割液;
加液控制装置,所述加液控制装置包括进液管与出液管,所述进液管的自由端与所述加液桶相连通且所述出液管的自由端邻近所述砂浆缸的底部,所述加液控制装置还包括:
加液泵,所述加液泵的一端连接所述进液管且另一端连接所述出液管,
电机,所述电机连接所述加液泵,用于驱动所述加液泵运行,
加液控制部,所述加液控制部连接所述加液泵,用于控制所述加液泵的加液频率;
浓度检测部,所述浓度检测部设置在所述砂浆缸内用于检测所述砂浆缸内的切割混合液的浓度并将所述浓度反馈给所述加液控制部,
当所述浓度低于预定值时,所述加液控制部提高所述加液泵的加液频率。
2.根据权利要求1所述的切割液提供装置,其特征在于,还包括:
盖体,所述盖体覆盖在所述砂浆缸的一侧端部,所述加液桶设置在所述盖体上。
3.根据权利要求1所述的切割液提供装置,其特征在于,所述砂浆缸的底部四个角上分别设有可滑动的脚轮。
4.根据权利要求1所述的切割液提供装置,其特征在于,所述砂浆缸的靠近所述加液桶一侧端部设有把手。
5.一种硅片切割设备,其特征在于,包括权利要求1-4任一项所述的切割液提供装置。
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