[发明专利]一种切割液提供装置及硅片切割设备有效

专利信息
申请号: 202010914356.1 申请日: 2020-09-03
公开(公告)号: CN112008903B 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 杨帆;樊欢欢;戚凤鸣 申请(专利权)人: 晶海洋半导体材料(东海)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 徐颖聪
地址: 222000 江苏省连云港市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 提供 装置 硅片 设备
【说明书】:

发明提供一种切割液提供装置及硅片切割设备,用于金钢线切片时提供切割液,其特征在于,包括:砂浆缸,所述砂浆缸用于盛放切割混合液,所述砂浆缸的侧面开设有溢流孔;加液桶,所述加液桶连接所述砂浆缸,用于盛放补充用切割液以向所述砂浆缸提供所述切割液;加液控制装置,所述加液控制装置包括进液管与出液管,所述进液管的自由端与所述加液桶相连通且所述出液管的自由端邻近所述砂浆缸的底部。本发明实施例的切割液提供装置能够保证砂浆缸内切割混合液浓度的恒定性,避免因切割混合液浓度降低导致金刚石颗粒磨损过大的问题,从而可以提升金钢线的切割力。

技术领域

本发明涉及金钢线切片技术领域,具体涉及一种切割液提供装置及具有该切割液提供装置的硅片切割设备。

背景技术

光伏切片行业发展至今,金刚线的外径已由原来120μm降至目前的47μm,45μm线也在逐步推进中,因金钢线上金刚石单位面积颗粒数及外观尺寸大幅度降低,金刚石颗粒的耐磨性也同步降低。为了提升金钢线的切割能力,除了金钢线自身性能提升外,切割液的作用也至关重要。

切割液的主要作用润湿、降温、分散,我们在使用过程中一般采用切割前直接添加的方法进行使用,在细线化推进过程中,往往配合大循环方可稳定切割,大循环可以减少硅粉及杂质对金刚石颗粒的包裹,从而让金刚线上的金刚石颗粒充分参与切割,从而提升切割力,但此方法只解决了金刚石充分利用的问题,未考虑金刚石颗粒耐磨性的减弱导致切割力下降,造成断线率提高,从而导致细线化工作无法顺利推进,因而我们从切割液添加方式的角度进行此方面改善。

发明内容

有鉴于此,本发明提供一种切割液提供装置,对加液的方式、方法改善,从而改造砂浆缸,能够提升整体的切割力。

本发明还提供一种具有上述切割液提供装置的硅片切割设备。

为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:

根据本发明实施例的切割液提供装置,用于金钢线切片时提供切割液,包括:

砂浆缸,所述砂浆缸用于盛放切割混合液,所述砂浆缸的侧面开设有溢流孔;

加液桶,所述加液桶连接所述砂浆缸,用于盛放补充用切割液以向所述砂浆缸提供所述纯切割液;

加液控制装置,所述加液控制装置包括进液管与出液管,所述进液管的自由端与所述加液桶相连通且所述出液管的自由端邻近所述砂浆缸的底部。

进一步地,根据本发明实施例的切割液提供装置,还包括:

盖体,所述盖体覆盖在所述砂浆缸的一侧端部,所述加液桶设置在所述盖体上。

进一步地,所述加液控制装置还包括:

加液泵,所述加液泵的一端连接所述进液管且另一端连接所述出液管;

电机,所述电机连接所述加液泵,用于驱动所述加液泵运行。

更进一步地,所述加液控制装置还包括:

加液控制部,所述加液控制部连接所述加液泵,用于控制所述加液泵的加液频率。

更进一步地,根据本发明实施例的切割液提供装置,还包括:

浓度检测部,所述浓度检测部设置在所述砂浆缸内用于检测所述砂浆缸内的切割混合液的浓度并将所述浓度反馈给所述加液控制部,

当所述浓度低于预定值时,所述加液控制部提高所述加液泵的加液频率。

进一步地,所述砂浆缸的底部四个角上分别设有可滑动的脚轮。

进一步地,所述砂浆缸的靠近所述加液桶一侧端部设有把手。

进一步地,所述砂浆缸的侧面开设有用于加水的进水孔。

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