[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置，其测量保持被加工物的卡盘工作台与对该卡盘工作台所保持的被加工物实施加工的加工工具的位置关系，其中，

该测量装置具有：

宽带光源；

反射镜，其对该宽带光源所发出的光进行反射而导入至加工工具；

色差聚光透镜，其配设于该宽带光源与该反射镜之间或该反射镜与该加工工具之间；

光分支部，其对沿该反射镜和该色差聚光透镜返回的被该加工工具反射的反射光进行分支；以及

位置检测单元，其根据与该光分支部所分支的反射光的波长对应的光的强度而对加工工具的位置进行检测。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

该测量装置还具有分束器，该分束器配设于该宽带光源与该反射镜之间，将该宽带光源所发出的光分支成朝向该反射镜的第一光路和与该第一光路垂直的第二光路，

该色差聚光透镜配设于该宽带光源与该分束器之间，该宽带光源所发出的光被导入至该反射镜和该卡盘工作台。