[发明专利]载片系统及物料传递方法

权利要求书

1.一种载片系统，其特征在于，包括：

腔室，所述腔室包括依次连通的大气腔、载片腔和工艺腔，所述大气腔与所述载片腔之间设置有第一物料阀，所述载片腔与所述工艺腔之间设置有第二物料阀；所述大气腔的内部设置为大气压环境，所述工艺腔的内部设置为真空环境；所述载片腔内设置有用于放置所述物料的物料支架；

充气装置，所述充气装置与所述载片腔连通，所述充气装置用于对所述载片腔充气以使所述载片腔的内部形成大气压环境；

抽气装置，所述抽气装置与所述载片腔连通，所述抽气装置用于对所述载片腔抽气以使所述载片腔的内部形成真空环境；

温度调节装置，所述温度调节装置与所述载片腔连通以调节所述载片腔内的温度；

所述温度调节装置包括恒温水源、进水管、出水管以及设置在所述载片腔内的换热管，所述进水管的两端分别与所述恒温水源和所述换热管连通，所述出水管的两端分别与所述恒温水源和所述换热管连通；所述物料支架与所述换热管连接。

2.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述充气装置包括气源、充气阀门和充气管路，所述充气管路分别与所述载片腔和所述气源连通，所述充气阀门设置在所述充气管路上。

3.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述抽气装置包括真空泵、抽气调节阀和抽气管路，所述抽气管路分别与所述载片腔和所述真空泵连通，所述抽气调节阀设置在所述抽气管路上。

4.根据权利要求3所述的载片系统，其特征在于，所述抽气调节阀包括快抽阀和缓抽阀，所述抽气管路包括快抽管路和缓抽管路，所述快抽阀设置在所述快抽管路上，所述缓抽阀设置在所述缓抽管路上。

5.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述载片系统还包括真空计，所述真空计与所述载片腔连通，以检测所述载片腔内的气压或真空度。

6.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述大气腔包括大气主腔和物料盒，所述物料盒与所述大气主腔连通，所述大气主腔内设置有用于转移物料的第一机械臂；所述工艺腔内设置有用于加工所述物料的加工工位和用于转移所述物料的第二机械臂。

7.根据权利要求1或6所述的载片系统，其特征在于，所述大气腔的内部设置有保护气和/或所述大气腔内的气压大于外界气压。

8.一种物料传递方法，其特征在于，所述物料传递方法通过根据权利要求1至7中任一项所述的载片系统来实施，所述物料传递方法包括：

充气装置对载片腔进行充气，使所述载片腔内的气压达到设定气压；

打开第一物料阀，将物料从大气腔转移至所述载片腔，关闭所述第一物料阀；

抽气装置将所述载片腔抽至真空，温度调节装置对所述载片腔内的温度进行调节；

打开第二物料阀，将所述物料从所述载片腔转移至工艺腔，对所述物料进行加工；

将加工后的物料转移至所述载片腔，关闭所述第二物料阀，充气装置将所述载片腔充气至设定气压；

打开所述第一物料阀，将所述加工后的物料从所述载片腔转移至所述大气腔，关闭所述第一物料阀。

9.根据权利要求8所述的物料传递方法，其特征在于，所述抽气装置将所述载片腔抽至真空，温度调节装置对所述载片腔内的温度进行调节，包括：

所述抽气装置的抽气调节阀调至第一开度对所述载片腔进行抽气，使所述载片腔内的气压降低至第一设定气压，所述温度调节装置对所述载片腔进行加热；

停止抽气，所述温度调节装置对所述载片腔进行加热，使所述载片腔内的温度达到预设温度值；

所述抽气调节阀调至第二开度对所述载片腔进行抽气，使所述载片腔内形成真空环境，所述第二开度大于所述第一开度。