[发明专利]一种CuP电镀阳极材料的表面处理方法有效
| 申请号： | 202010937077.7 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN111996575B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;慕二龙;王焱斌 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C23G1/10;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cup 电镀 阳极 材料 表面 处理 方法 | ||
1.一种CuP电镀阳极材料的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下步骤：
（1）将CuP电镀阳极材料采用混合酸进行处理，之后进行水洗；所述混合酸为硝酸和氢氟酸的混合溶液；所述混合溶液中硝酸与氢氟酸的体积比为(10-12):(1-2)；所述硝酸的质量百分比浓度为60-75%；所述氢氟酸的质量百分比浓度为30-45%；
（2）水洗完成后依次进行磁力研磨和清洗，之后进行干燥。
2.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，所述混合溶液中硝酸与氢氟酸的体积比为(11-11.5):(1.3-1.7)。
3.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（1）所述处理的时间为30-40min。
4.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（1）所述水洗的时间为5-10min。
5.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述磁力研磨的频率为50-65Hz。
6.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述磁力研磨中CuP电镀阳极材料的质量与研磨液质量比为(8-11):1。
7.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述磁力研磨的时间为10-15min。
8.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述清洗为采用异丙醇进行清洗。
9.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述清洗的时间为5-10min。
10.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述干燥的方式为真空干燥，绝对真空度＜0.01Pa。
11.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述干燥的温度为60-80℃。
12.如权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述干燥的时间为60-80min。
13.如权利要求1-12任一项所述的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下步骤：
（1）将CuP电镀阳极材料采用混合酸进行处理，之后进行水洗；处理的时间为30-40min；所述水洗的时间为5-10min；
（2）水洗完成后依次进行磁力研磨和清洗，之后进行干燥；所述磁力研磨的频率为50-65Hz；所述磁力研磨中CuP电镀阳极材料的质量与研磨液质量比为(8-11):1；所述清洗为采用异丙醇进行清洗。
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