[发明专利]一种用于光刻机的晶片吸盘

权利要求书

1.一种用于光刻机的晶片吸盘，其特征在于：包括圆形板状的底座(10)；底座(10)的上端面上可拆卸固定有圆形板状的支撑台(20)；支撑台(20)和底座(10)两者的旋转中心轴共线设置；支撑台(20)的上端面上成型若干同轴不同直径的圆柱槽状的吸附槽；吸附槽的底面上成型有四个圆周均匀分布的上下贯穿的上导气孔(206)；底座(10)的圆柱面上成型有四个圆周均匀分布的下径向移动槽(100)；底座(10)的下端面中心成型有上下贯穿的导气总管(105)；导气总管(105)与外部的抽吸气装置连接；底座(10)的内部成型有四个圆周均匀分布的内移动槽(101)；内移动槽(101)与下径向移动槽(100)一一对应；内移动槽(101)的外侧壁上成型有径向贯穿的外移动导孔(102)；内移动槽(101)内移动设置有驱动板(113)；驱动板(113)与内移动槽(101)的内侧壁密封设置；驱动板(113)的外侧端面上成型有径向连接杆(112)；径向连接杆(112)的外侧端套设有拉簧(12)；拉簧(12)的内侧端固定在驱动板(113)上、外侧端固定在内移动槽(101)的外侧壁上；径向连接杆(112)的外侧端固定有外限位块；外限位块的上端面高于支撑台(20)的上端面；支撑台(20)的底面上成型有圆柱槽状的旋转安置槽(202)；旋转安置槽(202)内旋转设置有圆柱状的中心切换块(23)；中心切换块(23)的内部中空；中心切换块(23)的下侧壁上成型有四个圆周均匀分布的分配孔(230)；中心切换块(23)的下侧壁中心成型有与导气总管(105)连通的中心导气孔(2300)；内移动槽(101)的内侧壁上成型有L型状的外限位导气孔(103)；外限位导气孔(103)的上端贯穿设置并且与分配孔(230)配合；底座(10)内成型有四个圆周均匀分布的径向设置的下径向导气管(106)；下径向导气管(106)位于一对相邻的内移动槽(101)之间；下径向导气管(106)上成型若干与上导气孔(206)配合的向上贯穿的下导气孔(107)；下径向导气管(106)内侧端成型有与分配孔(230)配合的向上贯穿的内限位导气孔(108)。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶片吸盘，其特征在于：外限位块包括竖直设置的竖直连接板(111)；竖直连接板(111)的上端成型有L型状的上限位板(11)；上限位板(11)的竖直部位于竖直连接板(111)的内侧；上限位板(11)的上端面与支撑台(20)的上端面平齐。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机的晶片吸盘，其特征在于：支撑台(20)的圆柱面上成型有四个圆周均匀分布的辅助支撑板(21)；辅助支撑板(21)的上端面与支撑台(20)的上端面平齐；辅助支撑板(21)的外侧端面成型有上径向避让槽(210)并且上径向避让槽(210)用于竖直连接板(111)径向移动。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶片吸盘，其特征在于：吸附槽的数量为两个并且分别为外吸附槽(201)和内吸附槽(200)；内吸附槽(200)位于外吸附槽(201)的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶片吸盘，其特征在于：支撑台(20)的上端面上成型有十字槽状的中心吸附连接槽(203)；中心吸附连接槽(203)与所有的吸附槽连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的晶片吸盘，其特征在于：旋转安置槽(202)的外圆柱面中心成型有圆环槽状的旋转支撑槽(203)；旋转支撑槽(203)的圆柱面中心成型有齿圈旋转槽(205)；底座(10)的底面上左部成型有驱动槽(204)；驱动槽(204)与齿圈旋转槽(205)连通；底座(10)的上端面上固定有驱动电机(22)；驱动电机(22)的输出轴上固定有旋转驱动齿轮(221)；中心切换块(23)的圆柱面上成型有与旋转支撑槽(203)配合的旋转支撑环(231)；旋转支撑环(231)的圆柱面上成型有与齿圈旋转槽(205)配合的调节齿圈(232)；调节齿圈(232)与旋转驱动齿轮(221)啮合。