[发明专利]一种石墨烯拉力传感器

权利要求书

1.一种石墨烯拉力传感器，其特征在于，包括：基底、第一支撑部、第二支撑部、石墨烯层、颗粒；所述第一支撑部和所述第二支撑部置于所述基底上，所述石墨烯层固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部的上表面，所述石墨烯层呈悬空状态，所述石墨烯层中设有孔洞，所述孔洞方形周期性排布，所述方形周期的一个方向沿所述第一支撑部和所述第二支撑部的连线方向，所述颗粒置于所述孔洞中，所述颗粒的尺寸大于所述孔洞的尺寸。

2.如权利要求1所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述孔洞为圆形。

3.如权利要求2所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述颗粒为球，所述颗粒的直径大于所述孔洞的直径。

4.如权利要求2所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述颗粒为圆锥体。

5.如权利要求4所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述圆锥体的轴线方向沿所述石墨烯层的法线方向，所述圆锥体的尖端朝向所述基底，所述圆锥体的底边直径大于所述孔洞的直径。

6.如权利要求1-5任一项所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述石墨烯层中石墨烯的层数少于10层。

7.如权利要求6所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述颗粒的材料为贵金属。

8.如权利要求7所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述颗粒的材料为金。

9.如权利要求6所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述颗粒的材料为半导体。

10.如权利要求9所述的石墨烯拉力传感器，其特征在于：所述颗粒的材料为硅。