[发明专利]一种高纯气体缓存、调节以及输送柜

权利要求书

1.一种高纯气体缓存、调节以及输送柜体，其特征在于，所述柜体包括外柜体，所述外柜体包含可开关的柜门，外柜体呈长方体，厚度为1-2mm，用于柜体内气体元件、缓存罐的支撑和安装；

保温单元，用于柜体内不同隔间的保温，保温单元为三层结构：不锈钢板材、保温材料、不锈钢板材，保温单元安装在柜体内部或柜体门上；

密封条，密封条用于柜体内部相接触的保温单元的密封连接，同时也用于柜体门的密封，密封条为柔软、耐腐蚀、耐酸碱的材料；

分隔板，用于将柜体内部分隔成不同的功能单元，在柜体的内部预留有安装分隔板的板槽和卡扣，用于分隔板的安装和拆卸；

管道安装板，构成不同功能区的气体管道的通道，管道安装板由两半组成，当管道安装好之后两半的组合可以完全密封，管道安装板直接安装在外柜体上；

进气调节区，用于进入柜体内高纯气体的过滤、调压；

缓存罐区，用于存放四氯化硅、四氯化锗、三氯氧磷高纯原料罐的储存和蒸发；

工艺气体状态区，用于调节各工艺气体的阀门状态、流量；

柜体氮气，用于对每个功能区的吹扫，使每个功能区相对于大气压保持一定的正压，同时使用高纯氮气确保每个功能区都维持一个高洁净、低湿度的环境；

排风口，安装在柜体内部的排风通道，通过管道与真空泵和喷淋塔链接，排风口及管道选用耐酸碱、耐腐蚀、强度高的材质；

其中每个功能区的气压比大气压大2-15Pa。

2.如权利要求1中所述的柜体，其特征在于，保温单元的不锈钢板材选用不锈钢316L，厚度为0.1-0.5mm，保温材料选用气凝胶材料，厚度2-10mm之间。