[发明专利]一种用于角抛光硅片样品的装置、设备及方法

权利要求书

1.一种用于角抛光硅片样品的装置，其特征在于，所述装置包括：

具有用于抛光所述硅片样品的抛光面的抛光板，所述抛光板被驱动成绕公转轴线进行公转的同时绕自转轴线进行自转，其中，所述公转和所述自转的转向相反；

固定至所述抛光板的环形构件，

置于所述抛光板的抛光面上并且处于所述环形构件围绕出的环形区域内的夹具，所述夹具用于夹持所述硅片样品；

其中，所述公转使所述夹具在离心作用下压靠在所述环形构件上，所述自转使所述环形构件沿着所述夹具的切向方向相对于所述夹具运动并为所述夹具提供切向摩擦力，以驱动所述夹具在所述抛光板的抛光面上自转。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述环形构件能够产生径向向外的弹性变形。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征于，所述环形构件为橡皮筋。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹具具有相对于所述抛光板的抛光面倾斜的倾斜表面，并且所述硅片样品以贴合所述倾斜表面的方式被夹持。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述抛光板的抛光面上被注有抛光剂。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述抛光板的抛光面的材质为强化丙烯聚合物。

7.一种用于角抛光硅片样品的设备，其特征在于，所述设备包括：

根据权利要求1至6中任一项所述的装置；

用于支撑所述装置的抛光板的偏心旋转轴，其中，所述抛光板能够绕所述偏心旋转轴自转；

平行于所述偏心旋转轴的中心旋转轴；

固定地连接所述中心旋转轴与所述偏心旋转轴的连接轴；

用于驱动所述中心旋转轴旋转的马达。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述偏心旋转轴与所述抛光板之间通过轴承连接，使得所述抛光板在绕所述公转轴线进行公转的过程中通过惯性绕所述自转轴线进行自转。

9.一种用于角抛光硅片样品的方法，其特征在于，所述方法应用于根据权利要求1至6中任一项所述的装置，所述方法包括：

将所述硅片样品夹持在所述夹具上；

将所述夹具置于所述抛光板的抛光面上的所述环形构件围绕出的环形区域内；

驱动所述抛光板绕公转轴线进行公转的同时绕自转轴线进行自转；

使所述夹具在所述抛光板的抛光面上自转并由此对所述硅片样品进行角抛光。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述抛光板从静止开始缓慢加速至以设定角度速绕所述公转轴线公转。