[发明专利]一种封装结构的制作方法有效
申请号: | 202010947969.5 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112117204B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 黄晓波 | 申请(专利权)人: | 安徽龙芯微科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/304;H01L21/02 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 刘生昕 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 结构 制作方法 | ||
本发明公开了一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片;本发明,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。
技术领域
本发明涉及芯片封装技术领域,具体为一种封装结构的制作方法。
背景技术
芯片在加工完成后,由于芯片体积小且薄,如果不在外施加保护,会被轻易的刮伤损坏,而且,因为芯片的尺寸微小,不易以人工安置在电路板上;封装是指将芯片上的电路管脚,用导线接引到外部接头处,以便与其它器件连接;封装后的产品叫做封装结构;现有技术中的封装结构的制作方法,在加工的过程中,生产成本较高,从而导致经济效益低;而且,封装结构的成品表面存在毛刺等瑕疵结构,容易对封装结构的整体质量造成影响;同时,硅片在打磨的过程中,会产生大量粉尘污染,清洁不便,因此,设计一种封装结构的制作方法是很有必要的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种封装结构的制作方法,工艺简单,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:
步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;
步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片,并对晶圆进行水洗,晶圆水洗主要清洗切割时产生的各种粉尘,使得芯片被清洁;清洁完成后,在显微镜下进行芯片的外观检查,是否有出现废品;
步骤S3:将芯片固定于封装基板或引脚架芯片的承载座上,选择合适的玻璃胶粘接剂后,将玻璃胶粘接剂涂覆在引脚架芯片的承载座上的表面,在上玻璃胶时,应当加热至玻璃熔融温度,使得芯片粘结在引脚架芯片的承载座上,上胶完成后对芯片进行固化处理,通过固化设备加热到175-185℃,保温30-45min;
步骤S4:固化完成后,将半导体裸芯片焊区与微电子封装的I/O引线或基板上的金属布线焊区用金属细丝连接起来,采用热超声波键合的方法进行键合连接,键合完成后,将芯片进行成型处理,;
步骤S5:使得芯片与引线框架包装起来,将芯片放置于模具中,并对模具进行预成型块预加热处理,预加热完成后,将模具放入转移成型机,使得塑封料挤压到浇道,再注入模腔,通过固化、保压、顶杆顶出处理后,将成型后的封装结构放入固化炉固化;
步骤S6:将固化完成后的封装结构进行去毛刺处理,用介质去飞边毛刺时,是将颗粒状的塑料球研磨料与高压空气一起冲洗封装结构;在去飞边毛刺过程中,介质会将框架引脚的表面轻微擦磨,这将有助于焊料和金属框架的粘连;毛刺去除完成后,对引脚进行上焊锡处理,上焊锡处理完成后,对封装结构进行切筋成型处理,从而完成封装结构的制备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造