[发明专利]一种封装结构的制作方法有效

专利信息
申请号: 202010947969.5 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN112117204B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 黄晓波 申请(专利权)人: 安徽龙芯微科技有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/304;H01L21/02
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 刘生昕
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 封装 结构 制作方法
【说明书】:

发明公开了一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片;本发明,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。

技术领域

本发明涉及芯片封装技术领域,具体为一种封装结构的制作方法。

背景技术

芯片在加工完成后,由于芯片体积小且薄,如果不在外施加保护,会被轻易的刮伤损坏,而且,因为芯片的尺寸微小,不易以人工安置在电路板上;封装是指将芯片上的电路管脚,用导线接引到外部接头处,以便与其它器件连接;封装后的产品叫做封装结构;现有技术中的封装结构的制作方法,在加工的过程中,生产成本较高,从而导致经济效益低;而且,封装结构的成品表面存在毛刺等瑕疵结构,容易对封装结构的整体质量造成影响;同时,硅片在打磨的过程中,会产生大量粉尘污染,清洁不便,因此,设计一种封装结构的制作方法是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种封装结构的制作方法,工艺简单,成本低廉,能够大大提高经济效益;同时,在封装的过程中,硅片打磨效果好,能够有效降低粉尘污染;而且,通过对封装结构进行了加工处理,能够大大提高封装结构整体质量。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现:

一种封装结构的制作方法,包括以下步骤:

步骤S1:将从晶圆厂出来的晶圆通过晶圆研磨设备进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装需要的厚度;磨片时,需要在晶圆的正面贴胶带保护电路区域同时研磨背面;研磨之后,去除胶带,测量晶圆的厚度;减薄后的芯片贴在一个带有金属环的薄膜上,送到划片机进行划片;

步骤S2:划片完成后,将晶圆安装粘贴在蓝膜上,使得晶圆即使被切割开后也不会散落;通过晶圆切割将整片晶圆切割成一个个独立的芯片,并对晶圆进行水洗,晶圆水洗主要清洗切割时产生的各种粉尘,使得芯片被清洁;清洁完成后,在显微镜下进行芯片的外观检查,是否有出现废品;

步骤S3:将芯片固定于封装基板或引脚架芯片的承载座上,选择合适的玻璃胶粘接剂后,将玻璃胶粘接剂涂覆在引脚架芯片的承载座上的表面,在上玻璃胶时,应当加热至玻璃熔融温度,使得芯片粘结在引脚架芯片的承载座上,上胶完成后对芯片进行固化处理,通过固化设备加热到175-185℃,保温30-45min;

步骤S4:固化完成后,将半导体裸芯片焊区与微电子封装的I/O引线或基板上的金属布线焊区用金属细丝连接起来,采用热超声波键合的方法进行键合连接,键合完成后,将芯片进行成型处理,;

步骤S5:使得芯片与引线框架包装起来,将芯片放置于模具中,并对模具进行预成型块预加热处理,预加热完成后,将模具放入转移成型机,使得塑封料挤压到浇道,再注入模腔,通过固化、保压、顶杆顶出处理后,将成型后的封装结构放入固化炉固化;

步骤S6:将固化完成后的封装结构进行去毛刺处理,用介质去飞边毛刺时,是将颗粒状的塑料球研磨料与高压空气一起冲洗封装结构;在去飞边毛刺过程中,介质会将框架引脚的表面轻微擦磨,这将有助于焊料和金属框架的粘连;毛刺去除完成后,对引脚进行上焊锡处理,上焊锡处理完成后,对封装结构进行切筋成型处理,从而完成封装结构的制备。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽龙芯微科技有限公司,未经安徽龙芯微科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010947969.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top