[发明专利]Micro-LED芯片的转移方法在审
申请号: | 202010947974.6 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112071795A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 陆骅俊 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/67;H01L27/15;G09F9/33 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 张晓薇 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 芯片 转移 方法 | ||
本发明提供一种Micro‑LED芯片的转移方法,所述Micro‑LED芯片的转移方法包括以下步骤:提供第一基板,所述第一基板上设有多个第一电极;提供第二基板,所述第二基板上设有多个第一Micro‑LED芯片,多个所述第一Micro‑LED芯片与多个所述第一电极对应设置;将多个所述第一Micro‑LED芯片与多个所述第一电极进行键合;去除所述第二基板。本发明的Micro‑LED芯片的转移方法,提高了第一Micro‑LED芯片的转移效率和转移精度,从而提高了最终制造得到的Micro‑LED显示器的生产周期和良率,节省了Micro‑LED显示器的制造成本,使其适于量产。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro-LED芯片的转移方法。
背景技术
微米级发光二极管(Micro-Light Emitting Diode,Micro-LED)显示器是一种以Micro-LED芯片作为像素点的自发光显示器,因其具有高亮度、高发光效率和低功耗等优点,逐渐成为了业界发展的新标杆。
Micro-LED显示器在制造的过程中,通常采用巨量转移技术将巨量的Micro-LED芯片转移至基板上,其中,巨量用以表示数量巨多,例如成千上万乃至更多。但现有的巨量转移技术都存在一个较大的问题,即,巨量的Micro-LED芯片的转移效率和转移精度都比较低,因此导致最终制造得到的Micro-LED显示器的生产周期长且良率低。
发明内容
因此,有必要提供一种Micro-LED芯片的转移方法,用以解决在Micro-LED芯片的转移过程中转移效率和转移精度低,从而造成最终制造得到的Micro-LED显示器的生产周期长且良率低的问题。
本发明提供一种Micro-LED芯片的转移方法,所述Micro-LED芯片的转移方法包括以下步骤:
提供第一基板,所述第一基板上设有多个第一电极;
提供第二基板,所述第二基板上设有多个第一Micro-LED芯片,多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极对应设置;
将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合;
去除所述第二基板。
在一些实施例中,在所述步骤“将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合”之前,所述Micro-LED芯片的转移方法还包括:
采用吸附技术,将多个所述第一Micro-LED芯片置于多个所述第一电极上。
在一些实施例中,所述吸附技术为真空吸附、静电力吸附、范德华力吸附、磁力吸附或自组装吸附。
在一些实施例中,所述步骤“将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合”具体为:
采用倒装芯片焊技术将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合。
在一些实施例中,所述第一基板为阵列基板。
在一些实施例中,所述第一电极为铜垫。
在一些实施例中,多个所述第一电极和多个所述第一Micro-LED芯片均呈阵列状排布。
在一些实施例中,所述第一基板上还设有多个第二电极;
在所述步骤“去除所述第二基板”之后,所述Micro-LED芯片的转移方法还包括以下步骤:
提供第三基板,所述第三基板上设有多个第二Micro-LED芯片,多个所述第二Micro-LED芯片与多个所述第二电极对应设置;
将多个所述第二Micro-LED芯片与多个所述第二电极进行键合;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造