[发明专利]Micro-LED芯片的转移方法在审

专利信息
申请号: 202010947974.6 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN112071795A 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 陆骅俊 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/67;H01L27/15;G09F9/33
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 张晓薇
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: micro led 芯片 转移 方法
【说明书】:

发明提供一种Micro‑LED芯片的转移方法,所述Micro‑LED芯片的转移方法包括以下步骤:提供第一基板,所述第一基板上设有多个第一电极;提供第二基板,所述第二基板上设有多个第一Micro‑LED芯片,多个所述第一Micro‑LED芯片与多个所述第一电极对应设置;将多个所述第一Micro‑LED芯片与多个所述第一电极进行键合;去除所述第二基板。本发明的Micro‑LED芯片的转移方法,提高了第一Micro‑LED芯片的转移效率和转移精度,从而提高了最终制造得到的Micro‑LED显示器的生产周期和良率,节省了Micro‑LED显示器的制造成本,使其适于量产。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro-LED芯片的转移方法。

背景技术

微米级发光二极管(Micro-Light Emitting Diode,Micro-LED)显示器是一种以Micro-LED芯片作为像素点的自发光显示器,因其具有高亮度、高发光效率和低功耗等优点,逐渐成为了业界发展的新标杆。

Micro-LED显示器在制造的过程中,通常采用巨量转移技术将巨量的Micro-LED芯片转移至基板上,其中,巨量用以表示数量巨多,例如成千上万乃至更多。但现有的巨量转移技术都存在一个较大的问题,即,巨量的Micro-LED芯片的转移效率和转移精度都比较低,因此导致最终制造得到的Micro-LED显示器的生产周期长且良率低。

发明内容

因此,有必要提供一种Micro-LED芯片的转移方法,用以解决在Micro-LED芯片的转移过程中转移效率和转移精度低,从而造成最终制造得到的Micro-LED显示器的生产周期长且良率低的问题。

本发明提供一种Micro-LED芯片的转移方法,所述Micro-LED芯片的转移方法包括以下步骤:

提供第一基板,所述第一基板上设有多个第一电极;

提供第二基板,所述第二基板上设有多个第一Micro-LED芯片,多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极对应设置;

将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合;

去除所述第二基板。

在一些实施例中,在所述步骤“将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合”之前,所述Micro-LED芯片的转移方法还包括:

采用吸附技术,将多个所述第一Micro-LED芯片置于多个所述第一电极上。

在一些实施例中,所述吸附技术为真空吸附、静电力吸附、范德华力吸附、磁力吸附或自组装吸附。

在一些实施例中,所述步骤“将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合”具体为:

采用倒装芯片焊技术将多个所述第一Micro-LED芯片与多个所述第一电极进行键合。

在一些实施例中,所述第一基板为阵列基板。

在一些实施例中,所述第一电极为铜垫。

在一些实施例中,多个所述第一电极和多个所述第一Micro-LED芯片均呈阵列状排布。

在一些实施例中,所述第一基板上还设有多个第二电极;

在所述步骤“去除所述第二基板”之后,所述Micro-LED芯片的转移方法还包括以下步骤:

提供第三基板,所述第三基板上设有多个第二Micro-LED芯片,多个所述第二Micro-LED芯片与多个所述第二电极对应设置;

将多个所述第二Micro-LED芯片与多个所述第二电极进行键合;

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