[发明专利]显示面板及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 202010949187.5 | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112038382B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 包征;辛燕霞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L21/77 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 张筱宁;宋海斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
基底,所述基底的周边区域包括层叠设置的第一金属信号线层和层间介电层;
第一围堰结构,包括第二金属信号线层、支撑层和像素定义层,所述第二金属信号线层和所述支撑层依次在所述层间介电层远离所述第一金属信号线层的一侧层叠设置;
所述像素定义层设于所述层间介电层远离所述第一金属信号线层的一侧,且所述像素定义层至少填充在所述第二金属信号线层的宽度方向的两侧,所述宽度方向为沿所述基底的显示区域向所述基底的周边区域的方向;
所述像素定义层在所述第二金属信号线层的对应区域具有过孔,使得所述第二金属信号线层远离所述层间介电层的一侧露出;所述支撑层靠近所述第二金属信号线层一侧填充所述过孔。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第二金属信号线层包括至少一条第二金属信号线;
相邻所述第二金属信号线间隔设置;
所述像素定义层在每条所述第二金属信号线的对应区域均具有所述过孔。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第一围堰结构包括以下至少一项:
所述第一围堰结构的宽度为45um~50um;
所述第二金属信号线的宽度为3um~5um;
所述过孔远离所述第二金属信号线一侧的宽度为3um~4um;
所述过孔靠近所述第二金属信号线一侧的宽度不大于所述过孔远离所述第二金属信号线一侧的宽度。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述基底还包括:
第一栅极绝缘层,设于所述第一金属信号线层远离所述层间介电层的一侧。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述基底还包括:
第三金属信号线层,设于所述第一栅极绝缘层远离所述第一金属信号线层的一侧;
第二栅极绝缘层,设于所述第三金属信号线层远离所述第一栅极绝缘层的一侧。
6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一围堰结构远离所述显示面板的显示区域的一侧设有第二围堰结构;
所述第二围堰结构与所述第一围堰结构位于所述基底的同一侧;
所述第二围堰结构在垂直于所述基底方向的高度大于所述第一围堰结构在垂直于所述基底方向的高度。
7.一种显示装置,其特征在于,包括:如权利要求1-6中任一项所述的显示面板。
8.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括:
在基底的周边区域依次制备形成所述基底中的第一金属信号线层和层间介电层;
在所述层间介电层远离所述第一金属信号线层的一侧制备形成第一围堰结构中的第二金属信号线层;
在所述层间介电层远离所述第一金属信号线层的一侧制备形成像素定义层,使得像素定义层至少填充在所述第二金属信号线层的宽度方向的两侧,在所述像素定义层对应所述第二金属信号线层的区域形成过孔,所述第二金属信号线层远离所述层间介电层的一侧露出;所述宽度方向为沿所述基底的显示区域向所述基底的周边区域的方向;
在所述像素定义层和所述第二金属信号线层都远离所述层间介电层的一侧制备形成支撑层,使得所述支撑层靠近所述第二金属信号线层一侧填充所述过孔。
9.根据权利要求8所述的显示面板的制备方法,其特征在于,所述在所述层间介电层远离所述第一金属信号线层的一侧制备形成第一围堰结构中的第二金属信号线层,包括:
在所述层间介电层远离所述第一金属信号线层一侧形成待刻蚀的第二金属层;所述第二金属层采用溅射工艺形成;
对所述第二金属层进行刻蚀,形成包括至少一条第二金属信号线的所述第二金属信号线层;相邻所述第二金属信号线间隔设置,所述第二金属信号线层采用干法刻蚀形成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的