[发明专利]封装结构和封装结构制作方法有效
申请号: | 202010950281.2 | 申请日: | 2020-09-11 |
公开(公告)号: | CN111933590B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 何正鸿;钟磊;李利 | 申请(专利权)人: | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56;H01L25/07;H01L23/498 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张洋 |
地址: | 315400 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 制作方法 | ||
本发明的实施例提供了一种封装结构和封装结构制作方法,涉及半导体封装技术领域。该封装结构包括基板、芯片和转接组件,转接组件至少包括第一转接板和第二转接板,第一转接板包括相对设置的第一表面和第二表面,第一表面设有第一线路层,第二表面设有第二线路层,第二转接板包括相对设置的第三表面和第四表面,第三表面设有第三线路层,第四表面设有第四线路层。第一转接板设于基板上,并与基板电连接;第二转接板设于第一转接板远离基板的一侧,芯片设于第二转接板上,并与第二转接板电连接;第一转接板和第二转接板之间设有导电柱,以使第一线路层、第二线路层、第三线路层和第四线路层电连接,以提高芯片集成度。
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域,具体而言,涉及一种封装结构和封装结构制作方法。
背景技术
现有COWOS(Chip-on-Wafer-on-Substrate)是台积电推出的2.5D封装技术,也称为晶圆级封装。COWOS主要针对高端市场,互连线的数量、密度和封装尺寸都比较大,难以实现芯片的更高密度集成。
发明内容
本发明的目的包括,例如,提供了一种封装结构和封装结构制作方法,其能够实现更多布线,提高芯片集成度,增加封装结构的多功能化。
本发明的实施例可以这样实现:
第一方面,本发明实施例提供一种封装结构,包括基板、芯片和转接组件;
所述转接组件至少包括第一转接板和第二转接板,所述第一转接板包括相对设置的第一表面和第二表面,所述第一表面设有第一线路层,所述第二表面设有第二线路层,所述第二转接板包括相对设置的第三表面和第四表面,所述第三表面设有第三线路层,所述第四表面设有第四线路层;
所述第一转接板设于所述基板上,并与所述基板电连接;所述第二转接板设于所述第一转接板远离所述基板的一侧,所述芯片设于所述第二转接板上,并与所述第二转接板电连接;所述第一转接板和所述第二转接板之间设有导电柱,以使所述第一线路层、所述第二线路层、所述第三线路层和所述第四线路层电连接。
在可选的实施方式中,所述第一转接板和所述第二转接板之间设有缓冲层。
在可选的实施方式中,所述导电柱包括第一导电件,所述第一导电件依次穿过所述第四线路层、所述第三线路层、所述缓冲层、所述第二线路层和所述第一线路层,且所述第一导电件分别与所述第一线路层、所述第二线路层、所述第三线路层和所述第四线路层电连接。
在可选的实施方式中,所述导电柱还包括第二导电件和/或第三导电件,所述第二导电件用于连接所述第一线路层和所述第二线路层,所述第三导电件用于连接所述第三线路层和所述第四线路层;
和/或,所述导电柱还包括第四导电件,所述第四导电件穿过所述缓冲层,用于连接所述第一线路层与所述第三线路层,或用于连接所述第一线路层与所述第四线路层,或用于连接所述第二线路层与所述第三线路层,或用于连接所述第二线路层与所述第四线路层。
在可选的实施方式中,所述转接组件上设有切割道,所述切割道处设有切割保护层,所述切割保护层的宽度大于所述切割道的宽度。
在可选的实施方式中,所述转接组件与所述基板之间设有胶层。
第二方面,本发明实施例提供一种封装结构制作方法,包括:
提供第一转接板,所述第一转接板包括相对设置的第一表面和第二表面,所述第一表面设有第一线路层,所述第二表面设有第二线路层;
提供第二转接板,所述第二转接板包括相对设置的第三表面和第四表面,所述第三表面设有第三线路层,所述第四表面设有第四线路层;
将所述第二转接板层叠于所述第一转接板上;
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