[发明专利]太阳能电池的制造方法在审
| 申请号： | 202010956098.3 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112271232A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 刘翔;包兵兵;钟柯佳;王小磊 | 申请（专利权）人： | 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/042 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 225300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：
背面酸刻蚀抛光工序，在所述背面酸刻蚀抛光工序过程中，以预定单位量向刻蚀槽连续补充工作液，以维持所述工作液的浓度，所述工作液包括HF、HNO3及H2SO4，所述刻蚀槽的滚轮的圆周面上具有用于向待抛光硅片背面沾附所述工作液的凹槽，所述凹槽的深度大于等于4mm。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，对所述HF进行补充，维持所述HF的浓度为80±20g/L。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，进行补充的HF的质量百分浓度为48％-50％，补充的单位量为3.2±0.2mL/pcs。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，对所述HNO3进行补充，维持所述HNO3的浓度为480±30g/L。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，进行补充的HNO3的质量百分浓度为67％-69％，补充的单位量为3.4±0.2mL/pcs。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，对所述H2SO4进行补充，维持所述H2SO4的浓度为450±50g/L。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，进行补充的H2SO4的质量百分浓度为96％-98％，补充的单位量为1±0.1mL/pcs。
8.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述背面酸刻蚀抛光工序的工艺温度为10℃-15℃。
9.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述凹槽为螺纹状凹槽。
10.根据权利要求1-7任一项所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述滚轮对所述待抛光硅片的传送速度小于等于3.2m/min。
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