[发明专利]太阳能电池的制造方法

说明书

本申请公开了一种太阳能电池的制造方法，包括：背面酸刻蚀抛光工序，在所述背面酸刻蚀抛光工序过程中，以预定单位量向刻蚀槽连续补充工作液，以维持所述工作液的浓度，所述工作液包括HF、HNO₃及H₂SO₄，所述刻蚀槽的滚轮的圆周面上具有用于向待抛光硅片背面沾附所述工作液的凹槽，所述凹槽的深度大于等于4mm。上述方案，使得HF、HNO₃与Si的有效反应增加，提升背面抛光效果，在与现有技术相比不增加HF、HNO3单耗和刻蚀减重的情况下，背面反射率由30％提升至40％，比表面积由1.1降低至小于等于1.05；另外，随着有效反应增加，HF、HNO3的消耗量可以下降20％左右，相应地废酸的排放也下降20％左右，对废酸的处理成本高也相应降低。

技术领域

本发明一般涉及太阳能光伏发电技术领域，具体涉及一种太阳能电池的制造方法。

背景技术

随着清洁能源的发展，硅太阳能电池因其固有的优势，成为目前的热门产业。上世纪80年代，由澳大利亚新南威尔士大学Martin Green团队最早提出在常规电池背面增加电介质钝化层，采用局部金属接触，大幅度降低背表面复合速度，提高少数载流子寿命，从而提升效率，借此提出了钝化发射极背面接触(Passivated Emitterand Rear Cell；PERC)结构太阳能电池，PERC电池也是目前光伏行业唯一大规模产业化的太阳能电池。PERC电池利用Al₂O₃/Si_xN_y膜层的场钝化/氢钝化效应提升硅片的有效载流子寿命，但带有金字塔结构的背表面结构因表面积大，导致了悬挂键的增加，为了追求更好的膜层均匀性，通过刻蚀技术进行背面/侧面的抛光。

目前，一般采用HF/HNO₃的混合溶液作为工作液，对硅片的背面/侧面进行酸刻蚀已到达抛光的目的，但是，由于HF/HNO₃与硅片的沾附性较差，导致HF/HNO₃与硅片的有效反应性差，致使HF/HNO₃用量大，HF单耗普遍≥40L/万片，HNO₃普遍≥45L/万片，废酸处理成本高。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种太阳能电池的制造方法，至少用于降低酸刻蚀工序中的工作液消耗，降低废酸处理成本高。

本发明提供一种太阳能电池的制造方法，包括：

背面酸刻蚀抛光工序，在所述背面酸刻蚀抛光工序过程中，以预定单位量向刻蚀槽连续补充工作液，以维持所述工作液的浓度，所述工作液包括HF、HNO₃及H₂SO₄，所述刻蚀槽的滚轮的圆周面上具有用于向待抛光硅片背面沾附所述工作液的凹槽，所述凹槽的深度大于等于4mm。

作为可实现方式，对所述HF进行补充，维持所述HF的浓度为80±20g/L。

作为可实现方式，进行补充的HF的质量百分浓度为48％-50％，补充的单位量为3.2±0.2mL/pcs。

作为可实现方式，对所述HNO₃进行补充，维持所述HNO₃的浓度为480±30g/L。

作为可实现方式，进行补充的HNO₃的质量百分浓度为67％-69％，补充的单位量为3.4±0.2mL/pcs。

作为可实现方式，对所述H₂SO₄进行补充，维持所述H₂SO₄的浓度为450±50g/L。

作为可实现方式，进行补充的H₂SO₄的质量百分浓度为96％-98％，补充的单位量为1±0.1mL/pcs。