[发明专利]驱动器以及光扫描装置

说明书

本发明提供一种驱动器以及光扫描装置。该驱动器使摆动部绕互相正交的第一轴以及第二轴摆动，具有固定部、两个第一定子铁芯、两个第二定子铁芯、两个第一线圈以及两个第二线圈。第一线圈配置在与第一定子铁芯的T形部相同的区域内，第二线圈配置在与第二定子铁芯的T形部相同的区域内，在中心轴方向上观察时，各第一定子铁芯的各延伸部具有沿第一轴隔着磁铁互相对置且与磁铁对面的端面，各第二定子铁芯的各延伸部具有沿第二轴隔着磁铁互相对置且与磁铁对面的端面。

技术领域

本发明涉及驱动器以及具备驱动器的光扫描装置。

背景技术

以往，已知相对于基板能够相对地倾动的MEMS装置。MEMS装置具有永久磁铁和两个铁芯。各铁芯分别具有隔着永久磁铁的下部对置地配置的磁极。另外，各铁芯的磁极对置的方向正交。并且，通过电流分别在配置于各铁芯的线圈中流动，通过对置的磁极对永久磁铁施加磁场并使支撑框以及反射镜构造体倾动。MEMS装置能够利用这种结构使反射镜绕正交的轴倾动(例如参照日本特开2016-033613号公报)。

现有专利文献

专利文献1：日本特开2016-033613号公报

在上述MEMS装置中，由于铁芯在反射镜的下部相交，因此需要在高度方向上偏离，难以小型化。另外，在俯视中支撑框以及反射镜构造体的旋转轴的延长线上配置铁芯以及线圈，在圆周方向上相邻的线圈之间形成间隙，因此线圈的占有率也下降。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种小型且线圈的占有率高的驱动器。

本发明的示例的驱动器具有能够绕与在上下延伸的中心轴正交的第一轴以及与上述第一轴正交且与上述中心轴相交的第二轴摆动的摆动部、能够绕上述第一轴摆动地支撑上述摆动部的框部以及能够绕上述第二轴摆动地支撑上述框部的固定部，上述摆动部具有配置于上述中心轴方向的下部的磁铁，上述固定部具有两个第一定子铁芯、两个安装于上述第一定子铁芯的第一线圈、两个第二定子铁芯以及两个安装于上述第二定子铁芯的第二线圈，上述第一定子铁芯以及上述第二定子铁芯分别具有沿上述中心轴延伸的T形部、从各上述T形部的上述中心轴方向的上端向以上述中心轴为中心的圆周方向的一侧延伸的延伸部，两个上述第一定子铁芯的上述T形部和两个上述第二定子铁芯的上述T形部在上述中心轴方向上观察时，在由上述固定部的上述第一轴以及上述第二轴划分的区域的各个上沿圆周方向交替地排列，上述第一线圈配置在与上述第一定子铁芯的上述T形部相同的上述区域内，上述第二线圈配置在与上述第二定子铁芯的上述T形部相同的上述区域内，在上述中心轴方向上观察时，两个上述第一定子铁芯的各上述延伸部具有沿上述第一轴隔着上述磁铁互相对置且与上述磁铁对置的端面，两个上述第二定子铁芯的各上述延伸部具有沿上述第二轴隔着上述磁铁互相对置且与上述磁铁对面的端面。

本发明的效果如下。

根据本发明的示例的驱动器，能够小型化且提高线圈的占有率。

附图说明

图1是本发明的驱动器的使用例的光扫描装置的立体图。

图2是图1所示的光扫描装置的分解立体图。

图3是以包含图1所示的光扫描装置的第一轴的面剖切的剖视图。

图4是以与图3正交的面剖切光扫描装置的剖视图。

图5是固定部的立体图。

图6是固定部的俯视图。

图7是定子铁芯的立体图。

图8是从与图7不同的角度观察的定子铁芯的立体图。

图9是从摆动部的下方观察的立体图。

图10是表示在轴上安装支架的第二支架部件的工序的立体图。