[发明专利]一种高纯钽板及其热处理方法有效
| 申请号： | 202010960464.2 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112251692B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 谭敦强;朱楹楹;冯美兵;匡兵;唐晔;刘俊荣;张铭显;聂腾飞;侯肖;许祖志;曹招 | 申请（专利权）人： | 南昌大学;九江有色金属冶炼有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/18 | 分类号： | C22F1/18;C22F1/02;C21D1/26 |
| 代理公司： | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人： | 金一娴 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市高新技术开发区*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 及其 热处理 方法 | ||
1.一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、将经过塑性变形处理后的高纯钽板置于热处理炉中，将其加热至500～700℃，恒温热处理80～120min；
步骤2、将步骤1中的热处理温度降低或升高100～200℃，继续对高纯钽板恒温热处理70～100min；
步骤3、将步骤2中的热处理温度升高至1030～1130℃，继续对高纯钽板恒温热处理60～90min；待高纯钽板在热处理炉中冷却至90～150℃时，打开炉门并冷却至室温。
2.根据权利要求1所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1中，高纯钽板的纯度不小于99.9％。
3.根据权利要求1所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1中，高纯钽板的塑性变形处理包括对电子束熔炼态钽锭进行一次或多次锻造，每次锻造后均进行退火，锻造过程发生的等效应变总和为3～4。
4.根据权利要求3所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1中，高纯钽板的塑性变形处理还包括对锻造及退火后的电子束熔炼态钽锭进行轧制，轧制过程发生的等效应变总和为1.5～3。
5.根据权利要求4所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1～3中，对高纯钽板进行的热处理过程均在氩气气氛保护条件下进行，热处理炉的升温速率为10℃/min。
6.根据权利要求1所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤2中，恒温热处理温度为350～800℃。
7.根据权利要求1所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1中，恒温热处理温度为550～650℃，恒温热处理时间为90～150min；所述步骤2中，恒温热处理温度为450～550℃或650～750℃，恒温热处理时间为80～90min；所述步骤3中，恒温热处理温度为1050～1100℃，恒温热处理时间为70～80min。
8.根据权利要求1所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1中，恒温热处理温度为600℃；所述步骤2中，恒温热处理温度为500℃或700℃；所述步骤3中，恒温热处理温度为1080℃。
9.根据权利要求1所述的一种高纯钽板的热处理方法，其特征在于：所述步骤1中，恒温热处理温度为550℃；所述步骤2中，恒温热处理温度为450℃或750℃；所述步骤3中，恒温热处理温度为1050℃。
10.一种采用权利要求1～9任一所述的方法制得的高纯钽板，其特征在于，其平均晶粒尺寸小于30μm，平均晶粒尺寸的标准偏差小于3μm。
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