[发明专利]膜的剥离装置及膜的剥离方法

权利要求书

1.一种剥离装置，用于从由基材和粘合在该基材上的膜所构成的层压体上将所述膜剥离，所述剥离装置的特征在于，具有：

支撑构件，从下方支撑作为所述层压体的前端的区域的端区域，

台，与所述支撑构件邻接，在使所述基材的一侧朝下的状态下，从下方支撑所述层压体中的作为所述端区域以外的区域的主体区域，以及

剥离机构，从所述层压体中的所述端区域到所述主体区域，将所述膜从所述基材上剥离；

所述支撑构件具有圆筒形状，所述支撑构件的圆筒面由具有粘附性的构件形成。

2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述支撑构件的圆筒面的一部分由第二构件形成，所述第二构件具有比所述构件所具有的所述粘附性低的粘附性。

3.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述支撑构件被设置成，能够围绕所述圆筒形状的中心轴旋转。

4.根据权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，

还具有退避机构，所述退避机构在所述支撑构件以及所述台支撑着剥离了所述膜后的所述基材的状态下，使所述支撑构件向远离所述台的方向退避，

所述退避机构，在使所述支撑构件退避时，使所述支撑构件一边旋转一边移动。

5.根据权利要求4所述的剥离装置，其特征在于，

所述退避机构，以使所述支撑构件随着远离所述台而向上侧移动的方式，来使所述支撑构件退避。

6.根据权利要求5所述的剥离装置，其特征在于，

在使所述支撑构件退避时，所述支撑构件移动的轨迹具有直线状、向下凸的曲线状、向下凸的圆弧状中的任一个形状。

7.根据权利要求5所述的剥离装置，其特征在于，

在使所述支撑构件退避时，所述支撑构件移动的轨迹是，在所述支撑构件退避时使所述支撑构件所支撑着的基材的变形小于或等于0.1mm的轨迹。

8.根据权利要求3至7中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

还具有锁定机构，所述锁定机构限制所述支撑构件的旋转。

9.根据权利要求1至7中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述支撑构件的所述圆筒面的粘附性为大于1N/15mm且小于等于3N/15mm。

10.根据权利要求1至7中的任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述剥离机构具有：

辊，具有在水平方向上具有轴的圆筒状的形状，在其圆筒面上具有粘附性，并且能够围绕所述轴旋转，

移动机构，使所述辊从所述端区域沿朝向所述主体区域的方向移动，以及

卷绕机构，从所述辊与所述膜中的所述端区域抵接的状态起，通过所述移动机构使所述辊移动，并使所述辊围绕所述轴旋转，来将所述膜的一部分卷绕到所述辊的所述圆筒面上。

11.根据权利要求10所述的剥离装置，其特征在于，

所述剥离机构中的所述辊与所述端区域的所述膜抵接的位置为，相对于所述支撑构件支撑所述层压体的位置而向所述主体区域侧偏移的位置。

12.一种剥离方法，用于从由基材和粘合在该基材上的膜所构成的层压体上将所述膜剥离，所述剥离方法的特征在于，具有：

支撑工序，在使所述基材的一侧朝下的状态下，通过支撑构件从下方支撑作为所述层压体的前端的区域的端区域，并通过与所述支撑构件邻接的台来支撑所述层压体中的作为所述端区域以外的区域的主体区域，以及

剥离工序，从所述层压体中的所述端区域到所述主体区域，将所述膜从所述基材上剥离；

在所述支撑工序中，通过支撑构件来支撑所述层压体，所述支撑构件具有圆筒形状且其圆筒面具有粘附性。

13.根据权利要求12所述的剥离方法，其特征在于，

还具有退避工序，

所述退避工序，在所述支撑构件以及所述台支撑着剥离了所述膜后的所述基材的状态下，使所述支撑构件沿规定的退避方向退避；

在所述退避工序中，以使所述支撑构件随着远离所述台而向上侧移动的方式，来使所述支撑构件退避。