[发明专利]一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜及制备方法

权利要求书

1.一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜，包括载玻片(1)、PDMS薄膜(2)、透明胶带(3)、PPC薄膜(4)、中间开孔的透明胶带(6)，其特征在于：

所述的PPC膜的结构为：PDMS薄膜(2)被透明胶带(3)固定在载玻片(1)上，粘有PPC薄膜(4)的中间开孔的透明胶带(5)粘在透明胶带(3)上，PPC薄膜(4)位于中间开孔的透明胶带开孔位置；

所述的载玻片(1)为医用载玻片；

所述的PDMS薄膜(2)大小为0.3×0.3cm，厚度为0.3cm；

所述的透明胶带(3)为单面的透明胶带；

所述的PPC薄膜(4)大小为1×1cm，厚度为200nm；

所述的中间开孔的透明胶带(5)为单面透明胶带，孔的大小为0.5×0.5cm。

2.一种基于如权利要求1所述的用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜的TEM样品制备方法，其特征在于方法步骤如下：

步骤一：PPC膜定点黏附样品材料，将样品材料通过机械剥离的方法制备到SiO₂衬底上；将附有样品材料的衬底置于转移平台的底座上；利用转移平台上的显微镜下找到目标样品材料；在转移平台的辅助下，将制备好的PPC膜轻轻压在样品材料上；把样品台底座加热至45℃，使PPC膜软化紧紧吸附住样品材料，然后再冷却至室温；通过机械臂将载玻片轻轻抬起，样品即被黏附在PPC膜上；可重复操作此过程，直至样品被PPC膜粘起；

步骤二：转移样品至铜网上，将PDMS膜置于SiO₂衬底上；将铜网置于PDMS中间，并放置于转移平台的底座上；在转移平台的显微镜下，通过机械臂将黏附有样品材料的PPC膜轻轻压在铜网的碳膜上；将转移平台底座加热至120℃使熔化PPC膜紧密贴在碳膜上；5分钟后将载玻片缓慢抬起，样品材料和熔化的PPC膜一同黏附在铜网上；此过程可重复操作，直至样品材料黏附在铜网上；

步骤三：溶解PPC膜，完成TEM样品制备，将附有样品材料的铜网和衬底一起放置于玻璃容器内，加入丙酮浸泡10分钟。PPC膜和PDMS膜将被溶解掉，而样品材料则黏附在铜网上，用气枪轻轻吹干后则完成TEM样品的制备。