[发明专利]一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备在审
申请号: | 202010972447.0 | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN112053977A | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 许同 | 申请(专利权)人: | 许同 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人: | 朱陈晨 |
地址: | 238300 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 工用 表面 处理 烘干 一体化 设备 | ||
1.一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,包括底座(1)、滑动组件(4)、S形水管组件(8)、分拣箱(14)和控制箱(22),其特征在于:
底座(1),所述底座(1)上侧固定有烘干组件(2)、辅助冷却箱(13)和分拣箱(14),且烘干组件(2)位于辅助冷却箱(13)左侧,同时辅助冷却箱(13)位于分拣箱(14)左侧,所述烘干组件(2)上侧固定有过滤组件(3);
滑动组件(4),所述滑动组件(4)用于对烘干箱(201)左侧进料口和右侧出料口进行密封,且滑动组件(4)固定在烘干箱(201)左右外壁上;
S形水管组件(8),所述S形水管组件(8)包括水管(801)、进水口(802)和出水口(803),且水管(801)一端与进水口(802)相连通,同时水管(801)另一端与出水口(803)相连通;
分拣箱(14),所述分拣箱(14)内部上侧固定有第二机械手(18),且第二机械手(18)下侧固定有夹持组件(19),所述分拣箱(14)后侧贯穿有第二传送带(20)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述烘干组件(2)包括烘干箱(201)、电加热丝(202)和热风机(203),所述烘干箱(201)内壁上固定有电加热丝(202),且烘干箱(201)上侧贯穿有热风机(203)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述烘干箱(201)左侧内壁上固定有温度传感器(5),且烘干箱(201)通过第一输气管(6)与第一存储箱(7)相连通,同时第一存储箱(7)通过第二输气管(9)与第二存储箱(10)相连通,所述第二存储箱(10)右侧贯穿有排气管(11)。
4.根据权利要求2所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述烘干箱(201)内贯穿有第一传送带(12),且第一传送带(12)位于第三传送带(21)左侧,同时第三传送带(21)贯穿辅助冷却箱(13)和分拣箱(14)内部,所述辅助冷却箱(13)内部上侧贯穿有散热扇(15),且辅助冷却箱(13)内部上侧固定有第一机械手(16),同时第一机械手(16)下侧固定有信息录入摄像机(17)。
5.根据权利要求1所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述过滤组件(3)包括进风管(301)、固定环(302)和过滤网(303),所述进风管(301)固定在烘干组件(2)上侧,且进风管(301)上侧螺纹连接有固定环(302),同时固定环(302)上螺纹连接有过滤网(303)。
6.根据权利要求1所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述滑动组件(4)包括固定块(401)、液压缸(402)、固定板(403)、密封板(404)、滑道(405)和温度传感器(5),所述固定块(401)上侧固定有液压缸(402),且液压缸(402)通过活塞杆固定有固定板(403),所述固定板(403)一端固定在密封板(404)上,且密封板(404)滑动连接有滑道(405),同时滑道(405)开设在烘干箱(201)左右外壁上。
7.根据权利要求1所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述夹持组件(19)包括U形固定板(1901)、电动伸缩杆(1902)、固定板(1903)、弹簧轴(1904)和夹持板(1905),所述U形固定板(1901)上固定有电动伸缩杆(1902),且电动伸缩杆(1902)一端固定有固定板(1903),同时固定板(1903)一侧固定有弹簧轴(1904),所述弹簧轴(1904)一端固定有夹持板(1905)。
8.根据权利要求7所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述固定板(1903)通过弹簧轴(1904)与夹持板(1905)构成伸缩结构,且夹持板(1905)上固定有橡胶防滑垫。
9.根据权利要求1所述的一种芯片加工用表面处理烘干一体化设备,其特征在于:所述控制箱(22)固定在烘干箱(201)前侧。
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