[发明专利]探针台聚焦方法、装置、计算机设备和存储介质

权利要求书

1.一种探针台聚焦方法，其特征在于，包括：

控制载片台带动晶圆以第一步距做第一运动，并获取第一运动起始位置和终止位置的晶圆图像；

根据所述起始位置的晶圆图像和所述终止位置的晶圆图像，确定第二运动的初始位置和运动方向；

控制载片台带动晶圆根据所述初始位置以及运动方向，以第二步距做第二运动；所述第二步距小于第一步距；

在每移动第二步距后获取晶圆图像并记录位置信息；

根据多个晶圆图像获取相应晶圆图像的清晰度，并根据位置信息以及相应位置信息对应的晶圆图像清晰度拟合清晰度曲线；

根据所述清晰度曲线，确定聚焦位置。

2.根据权利要求1所述的探针台聚焦方法，其特征在于，所述根据所述起始位置的晶圆图像和所述终止位置的晶圆图像，确定第二运动的初始位置和运动方向包括：

根据所述起始位置的晶圆图像得到第一清晰度并记录位置信息；

根据所述终止位置的晶圆图像得到第二清晰度并记录位置信息；

若所述第一清晰度大于第二清晰度，则以所述终止位置作为所述初始位置，所述运动方向与第一运动的方向相反；

若所述第一清晰度小于等于第二清晰度，则以所述起始位置作为初始位置，所述运动方向与第一运动的方向相同。

3.根据权利要求1所述的探针台聚焦方法，其特征在于，所述在每移动第二步距后获取晶圆图像并记录位置信息包括：

所述载片台带动晶圆移动第二步距后停止运动；获取晶圆图像并记录位置信息；

根据所述晶圆图像，计算第三清晰度；

完成第三清晰度计算之后，再依次移动第二步距并停止运动获取晶圆图像，计算第三清晰度并记录位置信息，直至满足预设条件。

4.根据权利要求3所述的探针台聚焦方法，其特征在于，所述完成第三清晰度计算之后，再依次移动第二步距并停止运动获取晶圆图像，计算第三清晰度并记录位置信息，直至满足预设条件包括：

将当前位置的晶圆图像的第三清晰度与前一位置的晶圆图像的第三清晰度对比；

若所述当前位置的晶圆图像的清晰度小于等于前一位置的晶圆图像的清晰度，则载片台停止运动；

若所述当前位置的晶圆图像的清晰度大于前一位置的晶圆图像的清晰度，则所述载片台带动晶圆以第二步距向下一位置移动并停止，获取晶圆图像，计算第三清晰度并记录位置信息。

5.根据权利要求4所述的探针台聚焦方法，其特征在于，所述根据多个晶圆图像获取相应晶圆图像的清晰度，并根据位置信息以及相应位置信息对应的晶圆图像清晰度拟合清晰度曲线包括：

获取载片台带动晶圆做第二运动的最后三个位置的位置信息以及晶圆图像的第三清晰度；

根据所述位置信息和晶圆图像的第三清晰度拟合清晰度曲线。

6.根据权利要求1所述的探针台聚焦方法，其特征在于，所述根据所述清晰度曲线，确定聚焦位置包括：

将清晰度曲线中清晰度峰值对应的位置信息作为聚焦位置。

7.根据权利要求1所述的探针台聚焦方法，其特征在于：

单次清晰度的计算时间小于200毫秒；

所述单次清晰度的计算时间包括：晶圆运动时间、相机取图时间和数值计算时间；

所述晶圆运动时间包括：载片台带动晶圆移动第一步距或第二步距距离的时间；

所述相机取图时间包括：相机获取当前位置的晶圆图像的时间；

所述数值计算时间包括：根据所述当前位置的晶圆图像计算清晰度的时间。