[发明专利]EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法

权利要求书

1.一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：

步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；

步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；

步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；

步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；

步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析;

所述步骤1中酸洗中使用到酸洗液由硝酸和水混合而成，硝酸和水的体积比为4-7：2—5。

2.根据权利要求1所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述步骤1中酸洗中使用到酸洗液由硝酸和水混合而成，硝酸和水的体积比为4-6：2—4。

3.根据权利要求2所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述步骤1中酸洗中使用到酸洗液由硝酸和水混合而成，硝酸和水的体积比为4-5：2—3。

4.根据权利要求2或3所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

酸洗时间为20—50min，或/和,酸洗温度为20—50℃。

5.根据权利要求4所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

酸洗时间为20—40min；或/和,酸洗温度为20—40℃。

6.根据权利要求5所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

酸洗时间为20—30min；或/和,酸洗温度为25—35℃。

7.根据权利要求2所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述步骤1中酸洗处于超声状态中进行，所述超声状态加快酸洗流程及酸洗效果。

8.根据权利要求7所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述超声状态使用的超声功率为150—300W；或/和,使用的超声电流为3—8A。

9.根据权利要求8所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述超声状态使用的超声功率为150—250W；或/和,使用的超声电流为3—7A。

10.根据权利要求9所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述超声状态使用的超声功率为150—200W；或/和,使用的超声电流为3—5A。

11.根据权利要求1所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述步骤2中清洗包括用水清洗3—5次；

或/和，所述步骤2中干燥温度为20—60℃；

和/或，所述步骤2中干燥时间为2—6min。

12.根据权利要求11所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述步骤2中干燥温度为20—50℃；

和/或，所述步骤2中干燥时间为2—5min。

13.根据权利要求12所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：

所述步骤2中干燥温度20—30℃；

和/或，所述步骤2中干燥时间为2—4min。