[发明专利]电子装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010977788.7 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN113725355A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 徐成吉 申请(专利权)人: 爱思开海力士有限公司
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00;H01L27/24;H01L27/22
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 刘久亮;黄纶伟
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 电子 装置 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种电子装置,该电子装置包括:

第一导线,所述第一导线在第一方向上延伸;

第二导线,所述第二导线布置在所述第一导线上方并在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸;

存储器单元,所述存储器单元在所述第一导线和所述第二导线之间的交叉区域中布置于所述第一导线和所述第二导线之间;以及

衬层,所述衬层被配置为在所述第一方向和所述第二方向上围绕所述存储器单元,所述衬层包括势阱。

2.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述衬层包括具有不同能带隙的多个层。

3.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述衬层具有包括顺序地层叠的第一层、第二层和第三层的多层结构,并且其中,所述第二层具有比所述第一层的能带隙和所述第三层的能带隙小的能带隙。

4.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述衬层具有包括顺序地层叠的第一层、第二层和第三层的多层结构,并且其中,所述第一层和所述第三层各自包含金属氧化物并且所述第二层包含半导体氮化物。

5.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述衬层具有包括顺序地层叠的第一层、第二层和第三层的多层结构,并且其中,所述第一层和所述第三层各自包含氧化铪层并且所述第二层包含亚硝酸硅层。

6.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述衬层的一部分延伸至所述第一导线在所述第二方向上的两个侧壁,并且延伸至所述第二导线在所述第一方向上的两个侧壁。

7.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述存储器单元包括可变电阻材料。

8.一种电子装置,该电子装置包括:

多条第一导线,所述多条第一导线在第一方向上延伸;

多条第二导线,所述多条第二导线布置在所述多条第一导线上方并在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸;

多个存储器单元,所述多个存储器单元布置在所述多条第一导线和所述多条第二导线之间的交叉处;

第一衬层,所述第一衬层形成在所述多个存储器单元中的每一个在所述第二方向上的两个侧壁上;以及

第二衬层,所述第二衬层形成在所述多个存储器单元中的每一个在所述第一方向上的两个侧壁上,

其中,所述第一衬层和所述第二衬层中的每一者包括具有不同能带隙的多个层。

9.根据权利要求8所述的电子装置,该电子装置还包括层间绝缘层,所述层间绝缘层填充所述第一导线、所述第二导线和所述存储器单元之间的区域,

其中,所述层间绝缘层具有比所述第一衬层和所述第二衬层中的每一者的最外层的能带隙大的能带隙。

10.根据权利要求9所述的电子装置,其中,所述第一衬层和所述第二衬层中的每一者具有包括顺序地层叠的第一层和第二层的多层结构,并且其中,所述第二层具有比所述第一层的能带隙和所述层间绝缘层的能带隙小的能带隙。

11.根据权利要求8所述的电子装置,其中,所述第一衬层和所述第二衬层中的每一者具有包括顺序地层叠的第一层、第二层和第三层的多层结构,并且其中,所述第二层具有比所述第一层的能带隙和所述第三层的能带隙小的能带隙。

12.根据权利要求8所述的电子装置,其中,所述第一衬层和所述第二衬层中的每一者具有包括顺序地层叠的第一层、第二层和第三层的多层结构,并且其中,所述第一层和所述第三层各自包含金属氧化物并且所述第二层包含半导体氮化物。

13.根据权利要求8所述的电子装置,其中,所述第一衬层和所述第二衬层中的每一者具有包括顺序地层叠的第一层、第二层和第三层的多层结构,并且其中,所述第一层和所述第三层各自包含氧化铪层并且所述第二层包括亚硝酸硅层。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱思开海力士有限公司,未经爱思开海力士有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010977788.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top