[发明专利]磨削装置和磨削方法

权利要求书

1.一种磨削装置，其具有：

保持单元，其通过保持面对被加工物进行保持；

磨削单元，其利用磨削磨具对保持于该保持面而以该保持面的中心为轴进行旋转的被加工物进行磨削，该磨削磨具呈环状配置于旋转的磨削磨轮；

水平移动单元，其使该保持单元和该磨削单元在与该保持面平行的水平方向上相对地移动；

磨削进给单元，其使该磨削单元在与该保持面垂直的方向上移动；以及

控制单元，

其中，

该控制单元具有：

第1控制部，其按照从该保持面的上方观察时该磨削磨具未覆盖该保持面所保持的被加工物的方式使用该水平移动单元将该保持单元和该磨削单元定位；

第2控制部，其通过厚度测量单元测量该保持面所保持的被加工物的厚度，计算该保持面所保持的该被加工物的上表面高度；

第3控制部，其按照使该磨削磨具的下表面下降至该第2控制部所计算的该被加工物的上表面高度的方式对该磨削进给单元进行控制；

第4控制部，其使用该水平移动单元使该保持单元和该磨削单元在水平方向上相对地移动，直至将该磨削磨具定位于该保持单元的该保持面所保持的被加工物的旋转中心为止；以及

第5控制部，其一边按照预先设定的磨削进给速度将该磨削单元进行磨削进给，一边将被加工物磨削至规定的厚度。

2.一种磨削方法，包含如下的工序：

保持工序，使被加工物保持于具有保持面的保持单元；

第1工序，使该保持单元和具有磨削磨具的磨削单元按照从该保持面的上方观察时该磨削磨具未覆盖该保持面所保持的被加工物的方式在水平方向上分开；

第2工序，计算该保持面所保持的被加工物的上表面高度；

第3工序，按照使该磨削磨具的下表面下降至该第2工序所计算的该被加工物的上表面高度的方式将该磨削单元在与该保持面垂直的方向上进行磨削进给；

第4工序，使该保持单元和该磨削单元在水平方向上相对地移动，直至将该磨削磨具定位于被加工物的旋转中心为止；以及

第5工序，一边按照预先设定的磨削进给速度将该磨削单元进行磨削进给，一边将被加工物磨削至规定的厚度。