[发明专利]一种利用相变诱导无铅薄膜材料制备方法在审
申请号: | 202010979458.1 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN112062552A | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 彭彪林;陈婷 | 申请(专利权)人: | 广西大学 |
主分类号: | C04B35/468 | 分类号: | C04B35/468;C04B35/475;C04B35/622 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 卢波 |
地址: | 530004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 相变 诱导 薄膜 材料 制备 方法 | ||
1.一种利用相变诱导无铅薄膜材料制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
1)制备BCT-BMT前驱体溶液,所述BCT-BMT通式为n(BaxCa(1-x))TiO3-(1-n)Bi(MgyTi(1-y))O3,其中0<x<1,0<y<1,0<n<1;
2)将步骤1)所得BCT-BMT前驱体溶液旋涂于Pt(111)/TiOx/SiO2/Si(100)衬底上面,得到湿膜;
3)将步骤2)所得湿膜干燥、热解、退火制得一层BCT-BMT薄膜,所述退火温度为700-800℃,退火时间为20-30min,退火环境为空气氛围;
4)重复步骤2)和步骤3)制得多层BCT-BMT薄膜。
2.根据权利要求1所述的利用相变诱导无铅薄膜材料制备方法,其特征在于,步骤1)所述的BCT-BMT前驱体溶液由如下方法制得:将Bi(CH3COO)3、Ca(CH3COO)2和Ba(CH3COO)2于60-100℃溶解在冰醋酸和去离子水的混合液体中,同时将Mg(OC2H5)2、Ti(OCH(CH3)2)4溶解在CH3OCH2-CH2OH和CH3COCH2COCH3的混合液体中,将所得的两种混合液再次于室温下搅拌30min混合,并放置20-30h,得到浓度为0.2-0.3M的BCT-BMT前驱体溶液。
3.根据权利要求1所述的利用相变诱导无铅薄膜材料制备方法,其特征在于,步骤2)所述旋涂转速为4000-6000rpm,旋涂时间为30-40s。
4.根据权利要求1所述的利用相变诱导无铅薄膜材料制备方法,其特征在于,步骤3)所述干燥温度为100-300℃,干燥时间为3-10min;所述热解温度为350-500℃,热解时间为3-10min。
5.根据权利要求1所述的利用相变诱导无铅薄膜材料制备方法,其特征在于,步骤4)制得8层BCT-BMT薄膜。
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