[发明专利]电子装置有效
申请号: | 202010979495.2 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN112993020B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 戴名柔;蔡嘉豪;程怡瑄 | 申请(专利权)人: | 群创光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L27/12 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 朱颖;臧建明 |
地址: | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 装置 | ||
1.一种电子装置,其特征在于,包括:
基板;以及
多个晶体管,设置于所述基板上,其中所述多个晶体管中至少一个,包括:
半导体层,设置于所述基板上;
栅绝缘层,设置于所述半导体层上,且包括多个第一接触孔与多个第二接触孔;
栅极,设置于所述栅绝缘层上;
第一电极,设置于所述栅极上,具有远离所述栅极的第一侧,且通过所述多个第一接触孔接触所述半导体层;以及
第二电极,设置于所述栅极上,具有远离所述栅极的第二侧,且通过所述多个第二接触孔接触所述半导体层,
其中所述多个第一接触孔具有远离所述栅极的第一边缘,且所述第一侧与所述栅极之间的最小距离小于所述多个第一接触孔中的一个所述第一接触孔的所述第一边缘与所述栅极之间的最小距离。
2.根据权利要求1所述的电子装置,其特征在于,所述第一侧与所述栅极之间的最小距离小于所述多个第一接触孔的所述第一边缘与所述栅极之间的最小距离。
3.根据权利要求1所述的电子装置,其特征在于,所述多个第二接触孔具有远离所述栅极的第二边缘,且所述第二侧与所述栅极之间的最小距离小于所述多个第二接触孔中的一个所述第二接触孔的所述第二边缘与所述栅极之间的最小距离。
4.根据权利要求3所述的电子装置,其特征在于,所述第二侧与所述栅极之间的最小距离小于所述多个第二接触孔的所述第二边缘与所述栅极之间的最小距离。
5.根据权利要求3所述的电子装置,其特征在于,在所述多个第一接触孔中,所述第一侧与所述第一边缘之间具有第一间隙,且在所述多个第二接触孔中,所述第二侧与所述第二边缘之间具有第二间隙。
6.根据权利要求5所述的电子装置,其特征在于,还包括:
介电层,设置于所述栅绝缘层上,且包括多个第一开孔与多个第二开孔,其中所述多个第一开孔连通所述多个第一接触孔,且所述多个第二开孔连通所述多个第二接触孔;以及
绝缘层,设置于所述介电层上、所述第一间隙内以及所述第二间隙内。
7.根据权利要求3所述的电子装置,其特征在于,所述半导体层包括第一侧边以及与所述第一侧边相对的第二侧边,所述第一侧边邻近于所述第一电极,且所述第二侧边邻近于所述第二电极。
8.根据权利要求7所述的电子装置,其特征在于,所述第一电极的所述第一侧与所述半导体层的所述第一侧边切齐,且所述第二电极的所述第二侧与所述半导体层的所述第二侧边切齐。
9.根据权利要求7所述的电子装置,其特征在于,所述第一侧边与所述栅极之间的最小距离大于所述第一边缘与所述栅极之间的最小距离,且所述第二侧边与所述栅极之间的最小距离大于所述第二边缘与所述栅极之间的最小距离。
10.根据权利要求1所述的电子装置,其特征在于,所述多个第一接触孔与所述多个第二接触孔呈交错排列。
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