[发明专利]电子装置有效

专利信息
申请号: 202010979495.2 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN112993020B 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 戴名柔;蔡嘉豪;程怡瑄 申请(专利权)人: 群创光电股份有限公司
主分类号: H01L29/417 分类号: H01L29/417;H01L27/12
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 朱颖;臧建明
地址: 中国台湾新竹科学工*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电子 装置
【说明书】:

本揭露提供一种电子装置,包括基板以及多个晶体管。多个晶体管设置于基板上。多个晶体管中至少一个包括半导体层、栅绝缘层、栅极、第一电极以及第二电极。半导体层设置于基板上。栅绝缘层设置于半导体层上且包括多个第一接触孔与多个第二接触孔。栅极设置于栅绝缘层上。第一电极设置于栅极上且具有远离栅极的第一侧。第一电极通过多个第一接触孔接触半导体层。第二电极设置于栅极上且具有远离栅极的第二侧。第二电极通过多个第二接触孔接触半导体层。多个第一接触孔具有远离栅极的第一边缘。第一侧与栅极之间的最小距离小于多个第一接触孔中的一个第一接触孔的第一边缘与栅极之间的最小距离。本揭露实施例的电子装置可具有较小的尺寸。

技术领域

本揭露涉及一种电子装置,尤其涉及一种可具有较小的尺寸的电子装置。

背景技术

平面显示面板已广泛地应用于电子设备例如移动电话、电视、监视器、平板电脑、车用显示器、穿戴装置以及桌上型电脑中。随电子产品蓬勃发展,对于电子产品上的显示品质的要求越来越高,使得用于显示的电子装置不断朝向更大及更高解析度的显示效果改进。

发明内容

本揭露是提供一种电子装置,其可具有较小的尺寸。

根据本揭露的实施例,电子装置包括基板以及多个晶体管。多个晶体管设置于基板上。多个晶体管包括半导体层、栅绝缘层、栅极、第一电极以及第二电极。半导体层设置于基板上。栅绝缘层设置于半导体层上且包括多个第一接触孔与多个第二接触孔。栅极设置于栅绝缘层上。第一电极设置于栅极上且具有远离栅极的第一侧。第一电极通过多个第一接触孔接触半导体层。第二电极设置于栅极上且具有远离栅极的第二侧。第二电极通过多个第二接触孔接触半导体层。多个第一接触孔具有远离栅极的第一边缘。第一侧与栅极之间的最小距离小于多个第一接触孔中的一个第一接触孔的第一边缘与栅极之间的最小距离。

附图说明

包含附图以便进一步理解本揭露,且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本揭露的实施例,并与描述一起用于解释本揭露的原理。

图1A为本揭露一实施例的电子装置的上视示意图;

图1B为图1A的电子装置沿剖面线A-A’的剖面示意图;

图1C为本揭露另一实施例的电子装置的上视示意图;

图2为本揭露另一实施例的电子装置的上视示意图;

图3为本揭露另一实施例的电子装置的上视示意图;

图4A为本揭露另一实施例的电子装置的剖面示意图;

图4B为图4A的电子装置沿剖面线B-B’的剖面示意图;

图5为本揭露另一实施例的电子装置的剖面示意图;

图6A为本揭露另一实施例的电子装置的剖面示意图;

图6B为图6A的电子装置沿剖面线C-C’的剖面示意图。

附图标号说明

100、100a、100b、100c、100d、100e:电子装置;

110:基板;

120、120’、120a、120a’、120b、120b’、120c、120c’、120d、120d’、120e:晶体管;

131、131a、131a’、132、132a、132a’、133:第一接触孔;

131’、132’、133’:第一边缘;

134、134a、134a’、135、136:第二接触孔;

134’、135’、136’:第二边缘;

140、141:绝缘层;

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