[发明专利]一种检测方法和检测设备

权利要求书

1.一种检测方法，其特征在于，包括：

提供检测光，所述检测光在待测物表面形成检测光斑，所述检测光经所述待测物形成信号光；

探测所述待测物表面探测区内的第一信号光，所述探测区与所述检测光斑至少部分重叠；

调整所述第一信号光的检测区域的尺寸；

其中，调整所述第一信号光的检测区域的尺寸包括：

在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时，将所述第一信号光的检测区域调整为第一尺寸，在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时，将所述第一信号光的检测区域调整为第二尺寸，在垂直于扫描方向的方向上，所述第一尺寸大于所述第二尺寸。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，调整所述第一信号光的检测区域的尺寸包括：

调整所述检测光斑的尺寸和/或调整所述探测区的尺寸。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述提供检测光之前还包括:

使所述探测区的中心与所述检测光斑的中心重叠。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时，将所述第一信号光的检测区域调整为第一尺寸，在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时，将所述信号光的检测区域调整为第二尺寸包括：

在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时，将所述检测光斑的尺寸调整为第一尺寸，在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时，将所述检测光斑的尺寸调整为第二尺寸，且在任一方向上，所述检测光斑的尺寸小于等于所述探测区的尺寸；

和/或，在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时，将所述探测区的尺寸调整为第一尺寸，在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时，将所述探测区的尺寸调整为第二尺寸，且在任一方向上，所述探测区的尺寸小于等于所述检测光斑的尺寸。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，将所述检测光斑的尺寸调整为第一尺寸包括：控制第一扩束组件进入所述检测光的光路，和/或，控制第一光阑组件离开所述检测光的光路，以将所述检测光斑的尺寸调整为第一尺寸；

将所述检测光斑的尺寸调整为第二尺寸包括：控制所述第一扩束组件离开所述检测光的光路，和/或，控制所述第一光阑组件进入所述检测光的光路，以将所述检测光斑的尺寸调整为第二尺寸。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，将所述探测区的尺寸调整为第一尺寸，将所述探测区的尺寸调整为第二尺寸包括：

控制探测模块感兴趣的探测区的尺寸，以将所述探测区的尺寸调整为第一尺寸，将所述探测区的尺寸调整为第二尺寸；

其中，所述探测模块用于探测所述待测物表面探测区内的信号光。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，将所述探测区的尺寸调整为第一尺寸包括：控制第二光阑组件离开所述信号光的光路，以将所述探测区的尺寸调整为第一尺寸；

将所述探测区的尺寸调整为第二尺寸包括：

控制所述第二光阑组件进入所述信号光的光路，以将所述探测区的尺寸调整为第二尺寸。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在远离所述待测物中心的方向上，所述待测物包括依次排列的第一区域至第N区域，N为大于或等于2的自然数，调整检测所述待测物表面的所述信号光的区域的尺寸包括：

在对所述第一区域至所述第N区域依次进行检测时，将所述检测光斑的尺寸依次调大；

和/或，在对所述第一区域至所述第N区域依次进行检测时，将所述探测区的尺寸依次调大。