[发明专利]薄板钼金属的精密高效切割方法有效
| 申请号： | 202010982240.1 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112171189B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 孟亚丽;李云;祝永华 | 申请（专利权）人： | 常州苏晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23K26/38 |
| 代理公司： | 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492 | 代理人： | 王普慧 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄板 金属 精密 高效 切割 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄板钼金属的精密高效切割方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、准备样品：准备宽度和长度大于钼衬底直径、厚度在0.05-0.2mm的钼板，采用轧制方式制得钼衬底，轧制后翘曲度大于180°，钼板表面有明显的波浪；
步骤2、预校平钼板：准备校平模具，将钼衬底放入校平模具内，送入校平炉内，首先将校平炉的温度升至800-900℃，保温1h-3h，最后降温至30-80℃，使钼衬底的翘曲度小于要求值，翘曲度的要求值为0-200μm；
步骤3、准备切割工装模具：选用光纤激光切割器，包括一切割工作台，制作切割模具，将切割模具固定在工作台上；
步骤4：切割：控制切割功率和切割速率，开启压缩空气对钼衬底进行切割，切割结束后，将钼衬底平铺在容器中，将液氮注入容器内，密封保存；
步骤4中，切割功率为20-60W，切割速率为5-20mm/s。
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