[发明专利]摄像系统、光探测器及光电二极管有效
申请号: | 202010982805.6 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN112071923B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 孙拓 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L27/146 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 张相钦 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 摄像 系统 探测器 光电二极管 | ||
本公开提供了一种摄像系统、光探测器及光电二极管。该光电二极管可以包括设于衬底上的电极层和半导体层。该电极层包括第一电极和第二电极。该第二电极围绕第一电极。该第二电极在衬底上的正投影与第一电极在衬底上的正投影之间的环形区域的内边缘和外边缘的形状为多边形或圆形,且形状为多边形的环形区域内边缘的任意相邻的两个边的夹角均为钝角,形状为多边形的环形区域外边缘的任意相邻的两个边的夹角均为钝角。该半导体层设于电极层远离衬底的一侧。本公开能够提高光电转化效率。
技术领域
本公开涉及探测技术领域,尤其涉及一种摄像系统、光探测器及光电二极管。
背景技术
随着社会的发展和科学技术的不断进步,光探测器在医学影像等领域中逐步得到广泛应用。
光探测器包括衬底和光电二极管。该光电二极管设于衬底上。该光电二极管包括半导体层。该半导体层能够将光信号转换为电信号,并将电信号发送至信号处理电路。该信号处理电路通过该电信号可以生成图像。然而,该光电二极管的光电转换率较低,影响了光探测器的探测效果。
发明内容
本公开的目的在于提供一种摄像系统、光探测器及光电二极管,能够提高光电转化效率。
根据本公开的一个方面,提供一种光电二极管,包括:
设于一衬底上的电极层,包括第一电极以及围绕所述第一电极的第二电极;所述第二电极在所述衬底上的正投影与所述第一电极在所述衬底上的正投影之间的环形区域具有内边缘和外边缘,所述环形区域内边缘的形状为多边形或圆形,且形状为多边形的所述环形区域内边缘的任意相邻的两个边的夹角均为钝角;所述环形区域外边缘的形状为多边形或圆形,且形状为多边形的所述环形区域外边缘的任意相邻的两个边的夹角均为钝角;
半导体层,设于所述电极层远离所述衬底的一侧。
进一步地,所述环形区域的内边缘和外边缘的形状均为多边形,所述环形区域内边缘的边的数量与所述环形区域外边缘的边的数量相同,且一一对应平行。
进一步地,形状为多边形的所述环形区域内边缘存在相邻的两个边的连接处形成第一圆角;和/或
形状为多边形的所述环形区域外边缘存在相邻的两个边的连接处形成第二圆角。
进一步地,所述环形区域内边缘存在相邻两个边的连接处具有第一圆角,与所述环形区域内边缘上所述的相邻两个边一一对应平行的所述环形区域外边缘上的两个边的连接处具有第二圆角,所述第一圆角的圆心和所述第二圆角的圆心重合。
进一步地,所述环形区域内边缘与所述环形区域外边缘均为六边形。
进一步地,所述第二电极在所述衬底上的正投影的外边缘的形状为多边形,且任意相邻的两个边的夹角为钝角;或,所述第二电极在所述衬底上的正投影的外边缘的形状为圆形。
进一步地,所述第二电极在所述衬底上的正投影外边缘的边的数量与所述环形区域外边缘的边的数量相同,且一一对应平行。
进一步地,所述第二电极在所述衬底上的正投影的外边缘的形状为多边形,所述第二电极在所述衬底上的正投影外边缘存在至少两个相邻的边的连接处形成第三圆角。
进一步地,所述第二电极在所述衬底上的正投影的外边缘的形状为多边形,所述第二电极在所述衬底上的正投影外边缘的边的数量与形状为多边形的所述环形区域外边缘的边的数量相同,且一一对应平行。
进一步地,所述第二电极在所述衬底上的正投影的外边缘的形状为六边形。
根据本公开的一个方面,提供一种光探测器,包括:
衬底;
上述任一项所述的光电二极管,所述电极层设于所述衬底上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的