[发明专利]分析、成像和/或处理物体区域的方法及粒子束装置

说明书

本文描述的发明涉及一种用于对物体进行分析、成像和/或处理的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。该方法包括：在物体的区域上布置材料层，使用第一粒子束来生成材料层的第一图像，使用激光束和/或第二粒子束并且通过相对于这些部分层在移动方向上相对移动激光束和/或第二粒子束来烧蚀材料层的部分层，当烧蚀材料层的部分层时以如下方式调整激光束和/或第二粒子束的相对移动：材料层的第一部分层的第一厚度与材料层的第二部分层的第二厚度相同，并且在材料层已经被部分或完全烧蚀之后，使用第一粒子束来生成物体的区域的至少第二图像。

技术领域

本文描述的发明涉及一种用于对物体进行分析、成像和/或处理的方法。而且，本文描述的发明涉及一种用于执行该方法的粒子束装置。例如，粒子束装置是电子束装置和/或离子束装置。

背景技术

电子束装置、尤其是扫描电子显微镜(下文又称为SEM)和/或透射电子显微镜(下文也称为TEM)，用于检查物体(又称为样本)以获得关于物体在某些条件下的特性和行为的了解。

在SEM中，使用束发生器来生成电子束(下文又称为一次电子束)，并且使用束引导系统来将电子束聚焦在要检查的物体上。物镜用于聚焦目的。通过偏转装置将一次电子束引导在要检查的物体的表面上。这又被称为扫描。被一次电子束扫描的区域又称为扫描区域。在此区域中，一次电子束的电子与要检查的物体相互作用。因这种相互作用而出现相互作用粒子和/或相互作用辐射。例如，相互作用粒子是电子。特别地，电子是由物体发射的-所谓的二次电子-并且一次电子束的电子是反向散射的-所谓的反向散射电子。相互作用粒子形成所谓的二次粒子束并且被至少一个粒子检测器检测到。粒子检测器生成用于生成物体的图像的检测信号。因此获得要检查的物体的图像。例如，相互作用辐射是X射线辐射或阴极发光。使用至少一个辐射检测器来检测相互作用辐射。此外或替代地，一次电子束的电子用于烧蚀或改性物体。

在TEM的情况下，同样使用束发生器来生成一次电子束，并且使用束引导系统来将一次电子束引导到要检查的物体上。一次电子束穿过要检查的物体。当一次电子束穿过要检查的物体时，一次电子束的电子与要检查的物体的材料相互作用。穿过要检查的物体的电子或物体发射的电子通过包括物镜的系统成像到发光屏上或检测器上，检测器是例如照相机的形式。例如，前述系统此外包括投影透镜。成像还可以在TEM的扫描模式下进行。这种TEM通常被称为STEM。此外，可以设置使用至少一个另外的检测器来检测在要检查的物体处反向散射的粒子和/或由要检查的物体发射的二次粒子，以便对要检查的物体成像。此外或替代地，在TEM或STEM中，一次电子束的电子用于烧蚀或改性物体。

在单个粒子束装置中组合STEM和SEM的功能是已知的。因此，能够使用此粒子束装置通过SEM功能和/或STEM功能对物体进行检查。

而且，已知了离子束柱形式的粒子束装置。使用布置在离子束柱中的离子束发生器来生成用于处理物体的离子。例如，在处理期间使用气体注入单元来烧蚀物体的材料或将材料施加到物体上。此外或替代地，离子用于通过在撞击物体时由离子与物体的相互作用生成的生成相互作用粒子和/或相互作用辐射来成像，其中相互作用粒子是例如二次电子，并且其中相互作用辐射例如是X射线辐射。

另外，现有技术已经公开了一方面使用电子而另一方面使用离子来在粒子束装置中分析和/或处理物体的做法。例如，具有SEM功能的电子束柱被布置在粒子束装置处。此外，如上文解释的离子束柱被布置在粒子束装置处。具有SEM功能的电子束柱特别用于进一步检查经处理或未经处理的物体，而且还用于处理物体。

电子束柱和离子束柱可以彼此成一定角度布置，例如大于45°且小于100°。电子束柱和离子束柱可以以如下方式布置：电子束和离子束可以在物体的特定点处相交。

在许多领域、特别是在生物科学中，非常期望生成相关物体的三维图像数据。可以基于三维图像数据对物体进行多种分析，从而能够实现物体的三维表示。