[发明专利]树脂密封装置

权利要求书

1.一种树脂密封装置，其中，

该树脂密封装置具有：

下模，该下模用于将多个基板夹持在该下模与上模之间，并通过向形成在该下模与所述上模之间的模腔内注入树脂来进行树脂密封成型，该下模具有供所述多个基板单独地载置的多个基板载置部、及沿上下方向贯穿该下模且与所述多个基板载置部中的各基板载置部相抵接的杆；

厚度测算部件，其测算所述多个基板各自的厚度；

模架，其将所述下模支承为能够拆装；及

调整机构，其与所述厚度测算部件所测得的所述多个基板各自的厚度相应地，利用贯穿所述模架的推压构件对所述杆进行推压，对所述多个基板载置部的高度单独地进行调整。

2.根据权利要求1所述的树脂密封装置，其中，

所述调整机构具有：升降构件，其使所述推压构件升降，该升降构件在下部具有第1斜面；弹性构件，其向下方推压所述升降构件；移动构件，其在上部具有与所述升降构件的第1斜面相对的第2斜面；滑动构件，其夹装在所述第1斜面与所述第2斜面之间；及驱动部，其通过使所述移动构件前进、后退，借助所述第1斜面、所述滑动构件和所述第2斜面使所述升降构件升降。

3.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

在所述推压构件的上端具有能够拆装的间隔构件。

4.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

在所述多个基板载置部中的各基板载置部都设有多个所述杆，

该树脂密封装置具有座板，该座板与多个所述杆的下表面相抵接以传递所述推压构件的推压力。

5.根据权利要求1或2所述的树脂密封装置，其中，

该树脂密封装置具有控制部，该控制部利用所述厚度测算部件测算所述多个基板各自的厚度，并与所述厚度测算部件所测得的所述多个基板各自的厚度相应地，利用所述调整机构对所述多个基板载置部的高度单独地进行调整，之后，暂时使所述上模和所述下模闭合，以夹持在分别载置于所述多个基板载置部上的所述多个基板上配设的脱模膜，在注入树脂之后，进一步使所述上模和所述下模闭合，利用所述调整机构使所述多个基板载置部上升。