[发明专利]一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备在审

专利信息
申请号: 202010993953.8 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN112080792A 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 虞文武;张波;周辉锋 申请(专利权)人: 常州机电职业技术学院;苏州策马机电科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 常州市科谊专利代理事务所 32225 代理人: 孙彬
地址: 213100 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 制备 芯片 真空 拉拔 设备
【权利要求书】:

1.一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,包括真空箱组件(1)、真空箱组件(1)内下端所设的旋转机构、旋转机构上端一侧所设的拉拔机构、旋转机构左端所设的加热机构与旋转机构右端所设的冷却机构,其特征在于:所述真空箱组件(1)有箱体(101)、箱体(101)左右两侧铰接的端盖(102)、箱体(101)上端左侧固定连通的抽气管(103)与箱体(101)上端右侧固定安装的真空泵(104)构成,所述抽气管(103)与真空泵(104)通过气管相连通。

2.根据权利要求1所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述旋转机构由真空箱组件(1)下端中间固定安装的旋转组件(2)与旋转组件(2)上端固定安装的顶部支撑组件(3)构成。

3.根据权利要求2所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述拉拔机构由顶部支撑组件(3)上端左端固定安装的升降缸(4)与升降缸(4)活塞杆的轴端固定连接的拉拔头(5)构成。

4.根据权利要求3所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述加热机构由槽体结构的融化槽(6)构成,且在融化槽(6)的壁体内环向均布绕设有加热电阻(7)。

5.根据权利要求4所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述冷却机构由桶状结构的冷却箱(801)构成,所述冷却箱(801)侧面的上下两端分别固定连通有进风管(802)与出风管(803),所述冷却箱(801)上端面的左右两侧对称设有封盖组件(9)。

6.根据权利要求5所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述封盖组件(9)由固定安装在冷却箱(801)左右两端面的伸缩电缸(901)与伸缩电缸(901)两端活塞杆的端部对称连接的卡板头(902)构成,所述卡板头(902)的中间开设有与升降缸(4)的活塞杆相卡配的密封卡槽(903)。

7.根据权利要求2所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述旋转组件(2)由旋转底座(201)与旋转底座(201)上端固定安装的旋转电机(202)构成,且旋转底座(201)的底部与箱体(101)的底部通过螺栓固定相连。

8.根据权利要求7所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述顶部支撑组件(3)由旋转连接板(301)与旋转支撑板(302)构成,所述旋转连接板(301)的下端与旋转电机(202)主轴的上端通过螺栓固定相连,所述旋转连接板(301)的上端与旋转支撑板(302)的下端通过螺栓相固定连接,所述升降缸(4)固定安装在旋转支撑板(302)的左上端。

9.根据权利要求3所述的一种制备芯片用的真空晶棒拉拔设备,其特征在于:所述拉拔头(5)的上端设有与升降缸(4)的活塞杆底部固定相连的拉板连接板(501),且在拉拔头(5)的下端设有拉拔种板(503),所述拉板连接板(501)与拉拔种板(503)中间夹设有隔热垫板(502)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州机电职业技术学院;苏州策马机电科技有限公司,未经常州机电职业技术学院;苏州策马机电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010993953.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top