[发明专利]花篮自由路径实现方法、软件系统、装置、服务器和系统

权利要求书

1.一种花篮自由路径实现方法，其特征在于，包括：

设置花篮转运路径；

判断花篮转运路径是否正常；以及

当花篮转运路径正常时进行取、放花篮；

所述设置花篮转运路径的方法包括：

根据清洗溶液清洗花篮的顺序，依次设置花篮的初始位置、各清洗溶液对应槽体的位置和结束位置，以形成花篮转运路径；

各槽体适于采用串联槽体和/或并联槽体设置；

所述并联槽体内存放同种清洗溶液；

所述判断花篮转运路径是否正常的方法包括：

判断花篮转运路径正常时需同时满足的条件至少包括：

花篮转运路径中任一槽体未被屏蔽，花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液不发生反应；

当花篮转运路径中任一槽体被屏蔽时，判断该花篮转运路径不正常，重新设置花篮转运路径；

当花篮转运路径中相邻两个槽体中清洗溶液发生反应时，判断该花篮转运路径不正常，重新设置花篮转运路径。

2.如权利要求1所述的花篮自由路径实现方法，其特征在于，

所述当花篮转运路径正常时进行取、放花篮的方法包括：

当花篮存放在初始位置且待放篮槽体满足放篮条件时，读取初始位置和待放篮槽体的位置数据，以将初始位置的花篮取出后放入待放篮槽体中，否则不进行取、放花篮；

当待取篮槽体满足取篮条件且待放篮槽体满足放篮条件时，读取待取篮槽体的偏移位置和待放篮槽体的位置数据，以将待取篮槽体内的花篮取出后放入待放篮槽体中，否则不进行取、放花篮；

当待取篮槽体满足取篮条件且花篮需运送至结束位置时，读取待取篮槽体的偏移位置和结束位置的位置数据，以将待取篮槽体内的花篮取出后放入结束位置，否则不进行取、放花篮；

当待放篮槽体为并联槽体时，将花篮放入并联槽体中任一满足放篮条件的槽体中，即读取并联槽体中任一满足放篮条件槽体的位置数据；

当待放篮槽体为串联槽体时，直接读取待放篮槽体的位置数据；

所述取篮条件包括：槽体中存放有花篮，并且该花篮已经达到清洗时间；

所述放篮条件包括：槽体内未存有花篮，并且该槽体内的温度和清洗溶液的液位高度均满足预设条件。

3.一种采用如权利要求1所述花篮自由路径实现方法的花篮自由路径实现软件系统，其特征在于，包括：

设置模块，设置花篮转运路径；

判断模块，判断花篮转运路径是否正常；以及

取放模块，当花篮转运路径正常时进行取、放花篮。

4.一种采用如权利要求1所述花篮自由路径实现方法的硅片自由路径离线加工装置，其特征在于，包括：

上料台、下料台、控制模块、若干槽体，以及与控制模块电性连接的机械手和人机交互模块；

所述人机交互模块适于设置花篮转运路径；

所述槽体适于存放清洗溶液；

所述控制模块适于判断花篮转运路径是否正常，以及所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径控制所述机械手取、放花篮，以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。

5.如权利要求4所述的硅片自由路径离线加工装置，其特征在于，

所述上料台、下料台、机械手和各槽体内均设置有第一检测模块；

所述控制模块适于根据所述第一检测模块检测的上料台、下料台、机械手和各槽体内是否有花篮，控制所述机械手对花篮进行抓取或放下，以取、放花篮；

各槽体内均设置有第二检测模块和第三检测模块；

所述第二检测模块适于检测相应槽体内的温度；

所述第三检测模块适于检测相应槽体内的清洗溶液的液位高度；

所述控制模块适于根据槽体内是否有花篮、温度和清洗溶液的液位高度判断是否满足放篮条件；

所述控制模块适于根据槽体内存放的花篮是否达到清洗时间判断是否满足取篮条件；

所述控制模块适于根据正常的花篮转运路径、放篮条件和取篮条件控制所述机械手取、放花篮，以依次在上料台、若干槽体和下料台之间转运花篮。