[发明专利]一种离子注入设备上的观察窗安装结构

权利要求书

1.一种离子注入设备上的观察窗安装结构，包括离子注入设备上的面板(1)，面板(1)上成型有向内凹陷的安装框(11)，安装框(11)上成型有矩形的窗口(12)，面板(1)的安装框(11)内插设有覆盖窗口(12)的玻璃板(3)，玻璃板(3)通过安装支架(2)安装在面板(1)上，其特征在于：安装支架(2)包括矩形的盖板(21)，盖板(21)的中心成型有与窗口(12)相对的观察口(211)，盖板(21)的外边成型有矩形的外边框(212)，靠近观察口(211)侧边的盖板(21)后端面上固定有矩形的内边框(22)，内边框(22)和外边框(212)的每侧边板之间均插设有锁条(23)，锁条(23)的中部成型有螺纹孔(231)，锁条(23)的两端插接有导向柱(24)，导向柱(24)的两端分别固定在内边框(22)和外边框(212)上；所述外边框(212)的边板上成型有与螺纹孔(231)相对的穿孔(213)，穿孔(213)两侧的外边框(212)边板上成型有定位孔(214)，定位孔(214)内插接有定位销(25)，定位销(25)固定在锁条(23)上；所述面板(1)上安装框(11)的侧边上分别成型有与穿孔(213)或定位销(25)相对的螺栓过孔(13)或销孔(14)；所述的玻璃板(3)插接在内边框(22)内，玻璃板(3)前、后端面分别抵靠在盖板(21)和安装框(11)。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其特征在于：所述面板(1)上的螺栓过孔(13)、销孔(14)和安装支架(2)上的穿孔(213)均采用腰型孔，面板(1)的螺栓过孔(13)内插接有螺栓，螺栓穿过外边框(212)的穿孔(213)螺接在锁条(23)的螺纹孔(231)内。

3.根据权利要求1所述的一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其特征在于：所述安装支架(2)上外边框(212)的后端面位于内边框(22)后端面的后侧。

4.根据权利要求3所述的一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其特征在于：所述安装支架(2)上的外边框(212)抵靠在安装框(11)上，安装支架(2)上盖板(21)的前端面和面板(1)的前端面相齐平。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其特征在于：所述安装支架(2)上外边框(212)与内边框(22)之间的间距大于锁条(23)的厚度，定位销(25)的外端面和外边框(212)的外侧壁相齐平。

6.根据权利要求1所述的一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其特征在于：所述面板(1)上安装框(11)靠近窗口(12)的板体上成型有环形并向内凹陷的密封槽(15)，密封槽(15)内插接有密封条，密封条抵靠在玻璃板(3)上。

7.根据权利要求1所述的一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其特征在于：所述盖板(21)上观察口(211)的长度和宽度均小于玻璃板(3)的长度和宽度。