[发明专利]一种离子注入设备上的观察窗安装结构

说明书

本发明公开了一种离子注入设备上的观察窗安装结构，包括离子注入设备上的面板和玻璃板，玻璃板通过安装支架安装在面板上，安装支架包括盖板，盖板的中心成型有与窗口相对的观察口，盖板的外边成型有矩形的外边框，盖板的后端面上固定有矩形的内边框，内边框和外边框上均插设有锁条，锁条的中部成型有螺纹孔，锁条的两端插接有导向柱，导向柱的两端分别固定在内边框和外边框上；外边框的边板上成型有与螺纹孔相对的穿孔，穿孔两侧的外边框边板上成型有定位孔，定位孔内插接有定位销，定位销固定在锁条上；面板上安装框的侧边上分别成型有与穿孔或定位销相对的螺栓过孔或销孔。

技术领域

本发明涉及离子注入机的技术领域，更具体地说涉及一种离子注入设备上的观察窗安装结构。

背景技术

离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入。离子注入机会在机架的外侧安装防护罩，防护罩由若干块面板拼接构成，一些面板上开设有窗口，窗口上覆盖玻璃板，玻璃板通过压条和螺栓组件固定在面板上，玻璃板安装时，需要穿插并紧固多个螺栓，一块玻璃板安装至少需要8个螺栓，而且螺栓需要配合螺母使用，紧固螺栓的工作量，安装玻璃板需要耗费较长的时间。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种离子注入设备上的观察窗安装结构，其采用的安装结构只要紧固4个螺栓，能保证安装强度的同时，方便观察窗的安装。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种离子注入设备上的观察窗安装结构，包括离子注入设备上的面板，面板上成型有向内凹陷的安装框，安装框上成型有矩形的窗口，面板的安装框内插设有覆盖窗口的玻璃板，玻璃板通过安装支架安装在面板上，安装支架包括矩形的盖板，盖板的中心成型有与窗口相对的观察口，盖板的外边成型有矩形的外边框，靠近观察口侧边的盖板后端面上固定有矩形的内边框，内边框和外边框的每侧边板之间均插设有锁条，锁条的中部成型有螺纹孔，锁条的两端插接有导向柱，导向柱的两端分别固定在内边框和外边框上；所述外边框的边板上成型有与螺纹孔相对的穿孔，穿孔两侧的外边框边板上成型有定位孔，定位孔内插接有定位销，定位销固定在锁条上；所述面板上安装框的侧边上分别成型有与穿孔或定位销相对的螺栓过孔或销孔；所述的玻璃板插接在内边框内，玻璃板前、后端面分别抵靠在盖板和安装框。

优选的，所述面板上的螺栓过孔、销孔和安装支架上的穿孔均采用腰型孔，面板的螺栓过孔内插接有螺栓，螺栓穿过外边框的穿孔螺接在锁条的螺纹孔内。

优选的，所述安装支架上外边框的后端面位于内边框后端面的后侧，

优选的，所述安装支架上的外边框抵靠在安装框上，安装支架上盖板的前端面和面板的前端面相齐平。

优选的，所述安装支架上外边框与内边框之间的间距大于锁条的厚度，定位销的外端面和外边框的外侧壁相齐平。

优选的，所述面板上安装框靠近窗口的板体上成型有环形并向内凹陷的密封槽，密封槽内插接有密封条，密封条抵靠在玻璃板上。

优选的，所述盖板上观察口的长度和宽度均小于玻璃板的长度和宽度。

本发明的有益效果在于：其采用的安装结构只要紧固4个螺栓，能保证安装强度的同时，方便观察窗的安装，能节省观察窗的安装时间。

附图说明

图1为本发明立体的结构示意图；

图2为本发明侧视的结构示意图；

图3为图2中A-A处的剖视结构示意图；

图4为本发明内安装支架的结构示意图。