[发明专利]一种避免基板刮伤的方法和装置

权利要求书

1.一种避免基板刮伤的方法，用于移动单元的控制器，其特征在于，包括如下步骤：

驱动基板侧边的移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板侧边从放置台面抬升到第一预设高度；

而后驱动基板内侧的移动单元从放置台面抬升，从而带动基板内侧从放置台面抬升；

内侧的移动单元排列形成直线且平行于基板的一边，且置于正中间位置，所述侧边为基板相对的两侧，所述两侧中的一侧各设置有多个移动单元，所述一侧的移动单元包含有处在外边的第一移动单元和处在中间的第二移动单元，则步骤“驱动基板侧边的移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板侧边从放置台面抬升到第一预设高度”包括如下步骤：

驱动第一移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板四角从放置台面抬升到第一预设高度；

而后同时驱动第一移动单元和第二移动单元上升，第二移动单元从放置台面上升到第二预设高度，从而带动基板侧边中间抬升到第二预设高度，第一移动单元上升到第一预设高度加上第二预设高度，从而带动基板四角抬升到第一预设高度加上第二预设高度；

还包括下降步骤：驱动基板内侧和外侧的移动单元到第三预设高度，使得基板置于第三预设高度；

驱动基板内侧的移动单元先下降使得基板内侧置于放置台面；

而后驱动基板外侧的移动单元下降使得基板外侧置于放置台面；则步骤“驱动基板外侧的移动单元下降使得基板外侧置于放置台面”包括如下步骤：

驱动第一移动单元移动到第三预设高度和驱动第二移动单元移动到第四预设高度，第四预设高度小于第三预设高度；

而后驱动第一移动单元和第二移动单元同时下降，使得第二移动单元先到放置台面，第一移动单元后下降到放置台面。

2.根据权利要求1所述的一种避免基板刮伤的方法，其特征在于：还包括步骤：

驱动内侧的移动单元和侧边的移动单元到同一高度。

3.根据权利要求1所述的一种避免基板刮伤的方法，其特征在于：所述移动单元为处在基板上表面的吸盘或者处在基板下表面的顶针。

4.一种避免基板刮伤的装置，包括放置台面、移动单元和控制器，所放置台面用于放置基板，所述控制器与移动单元连接，所述控制器用于执行如权利要求1到3任意一项的方法。