[发明专利]一种避免基板刮伤的方法和装置

说明书

本发明公开一种避免基板刮伤的方法和装置，包括如下步骤：驱动基板侧边的移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板侧边从放置台面抬升到第一预设高度；而后驱动基板内侧的移动单元从放置台面抬升，从而带动基板内侧从放置台面抬升。本发明通过先抬起基板的外侧，而后再抬起基板的内侧，使得基板可以从边缘到中心缓慢脱离放置台面，避免基板同时脱离放置台面的时候带来振动，从而避免基板的振动与台面摩擦形成刮伤的情况，从而提升了基板的产品品质。

技术领域

本发明涉及基板控制方法和设备领域，尤其涉及一种避免基板刮伤的方法和装置。

背景技术

液晶面板蚀刻机设备在干燥制程过程中，玻璃基板经过蚀刻腔室每道制程工艺后，玻璃基板薄化可见刮伤异常，如图1所示。微观刮伤方向为平行长边，不良密集性高。基板大板的刮伤方向平行短边，距离两侧540mm～590mm之间。容易造成液晶基板加工不良情况。

发明内容

为此，需要提供一种避免基板刮伤的方法和装置，解决基板刮伤的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种避免基板刮伤的方法，用于移动单元的控制器，包括如下步骤：

驱动基板侧边的移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板侧边从放置台面抬升到第一预设高度；

而后驱动基板内侧的移动单元从放置台面抬升，从而带动基板内侧从放置台面抬升。

进一步地，所述侧边为基板相对的两侧，所述两侧中的一侧各设置有多个移动单元，所述一侧的移动单元包含有处在外边的第一移动单元和处在中间的第二移动单元，则步骤“驱动基板侧边的移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板侧边从放置台面抬升到第一预设高度”包括如下步骤：

驱动第一移动单元从放置台面上升到第一预设高度，从而带动基板四角从放置台面抬升到第一预设高度；

而后同时驱动第一移动单元和第二移动单元上升，第二移动单元从放置台面上升到第二预设高度，从而带动基板侧边中间抬升到第二预设高度，第一移动单元上升到第一预设高度加上第二预设高度，从而带动基板四角抬升到第一预设高度加上第二预设高度。

进一步地，内侧的移动单元排列形成直线且平行于基板的一边，且置于正中间位置。

进一步地，还包括步骤：

驱动内侧的移动单元和侧边的移动单元到同一高度。

进一步地，还包括步骤：

驱动基板内侧和外侧的移动单元到第三预设高度，使得基板置于第三预设高度；

驱动基板内侧的移动单元先下降使得基板内侧置于放置台面；

而后驱动基板外侧的移动单元下降使得基板外侧置于放置台面。

进一步地，还包括步骤：

所述侧边为基板相对的两侧，所述两侧中的一侧各设置有多个移动单元，所述一侧的移动单元包含有处在外边的第一移动单元和处在中间的第二移动单元，则步骤“驱动基板外侧的移动单元下降使得基板外侧置于放置台面”包括如下步骤：

驱动第一移动单元移动到第三预设高度和驱动第二移动单元移动到第四预设高度，第四预设高度小于第三预设高度；

而后驱动第一移动单元和第二移动单元同时下降，使得第二移动单元先到放置台面，第一移动单元后下降到放置台面。

进一步地，所述移动单元为处在基板上表面的吸盘或者处在基板下表面的顶针。

本发明提供一种避免基板刮伤的装置，包括放置台面、移动单元和控制器，所放置台面用于放置基板，所述控制器与移动单元连接，所述控制器用于执行本发明任意一项实施例的方法。